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公开(公告)号：CN109031576A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810853516.9
申请日：2018-07-30
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G02B7/02
CPC classification number: G02B7/02
Abstract: 本发明提供一种物镜光窗式法兰及采用该法兰的真空腔，包括一法兰盘及一透镜，所述法兰盘中心具有一通孔，所述通孔形成一光路通道，所述透镜设置在所述光路通道内，形成光窗，所述透镜作为一光学系统的物镜前透镜使用。本发明的优点在于，将物镜与法兰结合为一个整体。将常规法兰上的光窗用物镜代替，光束经物镜传输后不需要再经过平面透镜光窗，从而减小了光窗的反射造成的光源能量损失，同时可以使物镜工作距离缩短，工作距离短的物镜的数值孔径大，分辨率高。
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公开(公告)号：CN108802433A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810215118.4
申请日：2018-03-15
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明提供一种基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法，原子力显微镜探针包括压电基底；信号发生器用于产生激励信号；输入输出换能器设置在压电基底上，输入输出换能器接收激励信号，并将激励信号转换为声表面波信号；反射器设置在压电基底上，并与输入输出换能器相对设置，反射器反射输入输出换能器输出的声表面波信号，输入输出换能器与反射器形成声表面波传播路径，输入输出换能器接收反射器反射的声表面波信号，并转换为电磁信号；针尖设置在压电基底上，并位于声表面波传播路径上，声表面波带动所述针尖震动；信号收集器收集所述电磁信号。优点是，在不引入激光检测针尖振动信号前提下，可实现对材料表面形貌高空间分辨测量。
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公开(公告)号：CN109031576B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201810853516.9
申请日：2018-07-30
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G02B7/02
Abstract: 本发明提供一种物镜光窗式法兰及采用该法兰的真空腔，包括一法兰盘及一透镜，所述法兰盘中心具有一通孔，所述通孔形成一光路通道，所述透镜设置在所述光路通道内，形成光窗，所述透镜作为一光学系统的物镜前透镜使用。本发明的优点在于，将物镜与法兰结合为一个整体。将常规法兰上的光窗用物镜代替，光束经物镜传输后不需要再经过平面透镜光窗，从而减小了光窗的反射造成的光源能量损失，同时可以使物镜工作距离缩短，工作距离短的物镜的数值孔径大，分辨率高。
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公开(公告)号：CN108802433B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201810215118.4
申请日：2018-03-15
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明提供一种基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法，原子力显微镜探针包括压电基底；信号发生器用于产生激励信号；输入输出换能器设置在压电基底上，输入输出换能器接收激励信号，并将激励信号转换为声表面波信号；反射器设置在压电基底上，并与输入输出换能器相对设置，反射器反射输入输出换能器输出的声表面波信号，输入输出换能器与反射器形成声表面波传播路径，输入输出换能器接收反射器反射的声表面波信号，并转换为电磁信号；针尖设置在压电基底上，并位于声表面波传播路径上，声表面波带动所述针尖震动；信号收集器收集所述电磁信号。优点是，在不引入激光检测针尖振动信号前提下，可实现对材料表面形貌高空间分辨测量。
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