公开(公告)号：CN107924835A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680047776.6

申请日：2016-08-10

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 斋尾崇 ,  奥村雄三 ,  福井由季 ,  深泽宏纪 ,  高田朋宏 ,  公文创一 ,  阿部一之 ,  渡边翔太 ,  井町昌義

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/304

Abstract: 提供：利用包含氯乙烯树脂作为液体接触构件的清洗装置的晶圆的清洗方法中使用的拒水性保护膜形成用化学溶液。一种化学溶液，其包含：下述通式[1]所示的烷氧基硅烷；选自由下述通式[2]所示的磺酸、该磺酸的酸酐、该磺酸的盐、和下述通式[3]所示的磺酸衍生物组成的组中的至少1种；以及稀释溶剂，上述稀释溶剂含有选自由烃、醚和硫醇组成的组中的至少1种溶剂。(R1)aSi(H)b(OR2)4-a-b[1]；R3-S(＝O)2OH[2]；R3-S(＝O)2O-Si(H)3-c(R4)c[3]。