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公开(公告)号：CN114068799A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202010750236.2
申请日：2020-07-30
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/317
Abstract: 本发明公开了一种铌酸盐基无铅铁电压电薄膜及其制备方法，属于电子信息材料技术领域。本发明以溶胶‑凝胶法在直径2英寸的基片上制备出高质量的铌酸钾钠(KNN)基压电薄膜。薄膜呈(100)择优取向的钙钛矿相，结构致密且均匀，表面粗糙度小，漏电流低，击穿场强高。溶胶‑凝胶法制备薄膜可达到原子或分子水平的均匀性，易于实现精确的成分控制和定量掺杂，并且可制备大面积薄膜，设备简单，用料省，成本低，易于实现工业化生产。制备得到的KNN基薄膜可用于制作压电微传感器、致动器、换能器等，在微机电系统(MEMS)领域具有非常广泛的应用。
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公开(公告)号：CN116466717A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310400198.1
申请日：2023-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了用于差速型双轮机器人对接手机磁吸式充电接口的方法，该方法包括：利用传感器获取待识别手机充电口的图像以及手机与充电装置的相对位置信息，并融合传感器的测量数据得到手机和充电装置之间的方位角信息；将待识别手机充电口的图像输入至预训练的视觉识别模型进行充电口识别以得到充电口位置识别结果；判断充电口位置识别结果中的充电口位置图像像素是否达到预设像素阈值，根据达到预设像素阈值的判断结果得到充电装置与手机之间的距离信息，控制充电装置与待识别手机充电口的充电对接。本发明能够自动识别手机并连接充电，并改进机器运动模式，缩短对接时间。
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公开(公告)号：CN110316691B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN201910537816.0
申请日：2019-06-20
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器及加工方法，其中，驱动器包括基底和薄膜，所述薄膜通过沉积方式直接形成在所述基底的表面上且包括贴合部和非贴合部，所述贴合部与所述基底的表面粘合，且所述非贴合部与所述基底的表面形成腔体，所述非贴合部包括可伸展或压缩变形的褶皱结构，所述腔体在流体介质的压力作用下，使得所述非贴合部膨胀并根据所述褶皱结构伸展输出所需变形或位移。本发明的驱动器位移较大、许用驱动气压较高、变形形貌可控，同时驱动器设计与微加工工艺有良好的兼容性，可以实现低成本、高一致性、小尺寸、高密度的微驱动器加工，且便于与同种器件或其他微纳器件及系统进行进一步集成。
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公开(公告)号：CN110316691A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910537816.0
申请日：2019-06-20
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器及加工方法，其中，驱动器包括基底和薄膜，所述薄膜通过沉积方式直接形成在所述基底的表面上且包括贴合部和非贴合部，所述贴合部与所述基底的表面粘合，且所述非贴合部与所述基底的表面形成腔体，所述非贴合部包括可伸展或压缩变形的褶皱结构，所述腔体在流体介质的压力作用下，使得所述非贴合部膨胀并根据所述褶皱结构伸展输出所需变形或位移。本发明的驱动器位移较大、许用驱动气压较高、变形形貌可控，同时驱动器设计与微加工工艺有良好的兼容性，可以实现低成本、高一致性、小尺寸、高密度的微驱动器加工，且便于与同种器件或其他微纳器件及系统进行进一步集成。
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公开(公告)号：CN107158560A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710288947.0
申请日：2017-04-27
Applicant: 清华大学
IPC: A61N1/05
CPC classification number: A61N1/0541 , A61N1/0543
Abstract: 本发明公开了一种基于水凝胶溶胀特性的可控自变形神经微电极，包括：水凝胶层，在接触液体时，水凝胶层中水凝胶吸水膨胀；Parylene材质电极基底，Parylene材质电极基底与水凝胶层互相连接并固定，其中，在微电极植入人体过程中或完成植入后的预设时间内，且水凝胶层吸水膨胀时，使得不发生膨胀且应力情况不同的Parylene材质电极基底发生变形，以使微电极整体发生弯曲变形。该微电极可以将水凝胶用于实现微电极整体的自弯曲变形，提高微电极的适用性，有效保证微电极的可靠性，简单易实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105854183A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610348989.4
申请日：2016-05-24
Applicant: 清华大学
CPC classification number: A61N1/3605 , A61N1/0541 , A61N1/36125
Abstract: 本发明公开了一种耳蜗的植入体执行端和电极阵列、微驱动薄膜制备方法与集成方法，植入体执行端包括：人工耳蜗薄膜电极阵列，作为电激励源植入人工耳蜗的顶部；压电微驱动薄膜，作为声激励源位于所述人工耳蜗的底部；以及驱动电路，与所述人工耳蜗薄膜电极阵列和压电微驱动薄膜连接，用于接收体外声处理模块所输入的包含声音信息的信号并产生相应的驱动信号以驱动所述人工耳蜗薄膜电极阵列和所述压电微驱动薄膜。本发明具有如下优点：利用压电薄膜微驱动器代替助听器的扬声器部分，完成声电混合激励人工耳蜗的两种激励源完全可植入化设计，减轻患者佩戴的不便。
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公开(公告)号：CN105854183B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201610348989.4
申请日：2016-05-24
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种耳蜗的植入体执行端和电极阵列、微驱动薄膜制备方法与集成方法，植入体执行端包括：人工耳蜗薄膜电极阵列，作为电激励源植入人工耳蜗的顶部；压电微驱动薄膜，作为声激励源位于所述人工耳蜗的底部；以及驱动电路，与所述人工耳蜗薄膜电极阵列和压电微驱动薄膜连接，用于接收体外声处理模块所输入的包含声音信息的信号并产生相应的驱动信号以驱动所述人工耳蜗薄膜电极阵列和所述压电微驱动薄膜。本发明具有如下优点：利用压电薄膜微驱动器代替助听器的扬声器部分，完成声电混合激励人工耳蜗的两种激励源完全可植入化设计，减轻患者佩戴的不便。
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公开(公告)号：CN107434239A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201710613928.0
申请日：2017-07-25
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B81B7/02 , A61N1/0541 , B81B7/04 , B81B2201/06 , B81B2203/04 , B81C1/00214 , B81C1/00349 , B81C1/00531 , B81C2201/0107 , B81C2201/0132 , B81C2201/0147 , B81C2201/0174
Abstract: 本发明公开了一种可应用于人工耳蜗的MEMS薄膜电极阵列与加工方法。包括：所述薄膜电极阵列采用直线型结构，薄膜平面内电极形状为圆形，垂直于平面方向电极具有凸起形状；薄膜电极阵列内电极的尺寸根据人工耳蜗激励电流要求与电极材料电荷密度安全值设计，其中，电极中心间距≥150μm，每个电极暴露面积直径≥70μm。本发明引入MEMS微加工技术，提升了电极阵列的电极密度，降低了手工加工的加工成本。
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