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公开(公告)号:CN116827294A
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202210267766.0
申请日:2022-03-17
Applicant: 北京京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC: H03H9/02 , H03H9/13 , H03H9/17 , H03H3/02 , H10N30/072
Abstract: 本发明涉及一种声波谐振滤波器及其制备方法、电子设备。声波谐振滤波器包括基底、第二电极、压电层和第一电极;第二电极与基底键合相接,压电层位于第二电极的背向基底的一侧,第一电极位于压电层的背向第二电极的一侧;基底上朝向第二电极和压电层的一侧形成有凹区;压电层分别与第一电极和第二电极电连接。本发明的声波谐振滤波器中,压电层上没有用于进行牺牲层工艺的开孔,压电层的与凹区对应的区域为无孔结构形状,可以使声波谐振滤波器制备过程中的良品率较高,保证声波谐振滤波器的性能;压电层的形状结构完整,具有较高的结构可靠性;压电层上不设置开孔,有助于维持器件的尺寸较小。
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公开(公告)号:CN114520222A
公开(公告)日:2022-05-20
申请号:CN202210112631.7
申请日:2022-01-29
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
Abstract: 本公开提供一种无源滤波器及其制备方法,属于射频器件技术领域。本公开提供一种无源滤波器,其包括:介质基板、至少一个电容以及至少一个电感;电容包括背离介质基板方向依次设置的第一极板、第一层间介质层以及第二极板;其中,第一层间介质材料的介电常数随着第一极板和第二极板之间的静电场变化而变化。
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公开(公告)号:CN114497027A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202210111884.2
申请日:2022-01-29
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
Abstract: 本公开提供一种无源滤波器及其制备方法,属于射频器件技术领域。本公开提供一种无源滤波器,其包括:介质基板、至少一个电容以及至少一个电感。介质基板包括沿介质基板厚度方向设置的开槽,开槽的内壁包括第一部分,第一部分上至少部分点的切线的延伸方向与介质基板所在平面的延伸方向相交。电容包括背离所述介质基板方向依次设置的第一极板、第一层间介质层以及第二极板,电容的第一极板、电容的第二极板以及第一层间介质层在介质基板上的正投影重叠的部分,至少覆盖第一部分。
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公开(公告)号:CN114070220A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202111356223.8
申请日:2021-11-16
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
Abstract: 本公开提供一种滤波器及其制备方法、电子设备,属于电子器件技术领域,解决现有滤波器中电容集成度低的问题。本公开的滤波器包括衬底基板,设置在衬底基板上的电容和电感;滤波器还包括设置在衬底基板上的多个间隔设置的凸出部、介质层、第一导电层。多个凸出部彼此电连接形成电容的第一极板;凸出部包括相对设置的第一表面和第二表面,以及连接在第一表面和第二表面之间的连接侧面;介质层至少覆盖凸出部的第二表面和连接侧面;第一导电层位于介质层远离凸出部的一侧,且与介质层接触;第一导电层用作电容的第二极板。
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公开(公告)号:CN114025468A
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN202111313513.4
申请日:2021-11-08
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC: H05K1/02
Abstract: 本公开提供一种集成有无源器件的基板和电子设备,属于电子技术领域,解决了现有无源器件不具有散热结构的问题。本公开的集成有无源器件的基板包括基底,无源器件设置在所述基底一侧;其中,基板还包括:设置在基底背离无源器件一侧的凹槽部;设置在凹槽部背离基底一侧的盖板,盖板和凹槽部共同围成微流道结构;设置在微流道结构内的驱动结构,驱动结构被配置为驱动微流道结构中的散热液体循环流动,以对无源器件进行散热。
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公开(公告)号:CN113990858A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202111265841.1
申请日:2021-10-28
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种集成无源器件、其制作方法及半导体装置,本发明通过采用第一柔性基板+玻璃基板+第二柔性基板的三明治结构,取代相关技术中的单层玻璃基板结构,可以增加器件强度,弥补玻璃基板打孔填充导电结构后强度降低的问题;并且本发明通过设计三维电感结构、平面电容结构,可以提高电感的品质因素(即Q factor),从而降低损耗,提高集成无源器件的可靠性。
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公开(公告)号:CN118556274A
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN202280001938.8
申请日:2022-06-29
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
Abstract: 本公开提供一种电感及其制备方法、滤波器、电子设备,属于电子元件技术领域。本公开的电感,其包括:第一介质基板(10),包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面,第一介质基板(10)具有沿其厚度方向上贯穿的第一连接过孔(11),以及贯穿第一介质基板(10)的至少部分的第一槽部(12);第一子结构(21),设置在第一表面;第二子结构(22),设置在第二表面;第一连接电极(25),设置在第一连接过孔(11)内,并将第一子结构(21)和第二子结构(22)顺次连接形成电感的线圈结构;磁芯(3)设置在第一槽部(12)内,且磁芯(3)与第一子结构(21)和第二子结构(22)绝缘设置,且位于线圈结构内。
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公开(公告)号:CN117941256A
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN202280002823.0
申请日:2022-08-24
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC: H03H9/64
Abstract: 本公开提供了一种混合滤波器及其制备方法、滤波装置。混合滤波器包括相对设置的第一基板(100)和第二基板(200),第一基板(100)和第二基板(200)之间设置有第一空间(300),第一基板(100)和第二基板(200)中的至少一个设置有薄膜体声波谐振器(30),第一基板(100)和第二基板(200)中的至少一个设置有至少一个无源滤波器(40),薄膜体声波谐振器(30)设置在第一空间(300)内,且与无源滤波器(40)连接,无源滤波器(40)包括滤波电感和滤波电容,滤波电感为三维螺旋电感结构。
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公开(公告)号:CN117413359A
公开(公告)日:2024-01-16
申请号:CN202280000935.2
申请日:2022-04-27
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC: H01L23/64
Abstract: 一种滤波器及其制作方法、电子设备,滤波器包括第一电感(L1),滤波器还包括:衬底基板(1)、多个导电柱(11)、第一导电层、第二导电层,衬底基板(1)的侧面上形成多个贯穿衬底基板的通孔(TGV);多个导电柱(11)与通孔(TGV)对应设置,导电柱(11)填充于与其对应的通孔(TGV)内,导电柱(11)用于形成第一电感(L1)线圈的部分结构;第一导电层位于衬底基板(1)的一侧面,第一导电层包括多条第一导电线(21),第一导电线(21)连接于两导电柱(11)之间,第一导电线(21)用于形成第一电感(L1)线圈的部分结构;第二导电层位于第一导电层背离衬底基板(1)的一侧,第二导电层包括第二导电线(42),第二导电线(42)与第一导电线(21)对应设置,第二导电线(42)通过过孔(H)连接与其对应的第一导电线(21)。该滤波器具有较好的稳定性。
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公开(公告)号:CN116941008A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202280000242.3
申请日:2022-02-22
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方光电科技有限公司
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明提供一种微机电系统开关及其制造方法,该微机电系统开关包括绝缘基底、驱动电极、第一绝缘层、第一信号传输线和第二信号传输线,其中,绝缘基底的第一表面形成有第一区域,且第一区域相对于第一表面更靠近绝缘基底背离第一表面的表面,驱动电极设置于第一区域;第一绝缘层完全覆盖驱动电极;第一信号传输线设置于第一绝缘层背离绝缘基底一侧的表面;第二信号传输线包括连为一体的信号传输段和悬臂段,信号传输段设置于绝缘基底的第一表面,悬臂段悬置于第一信号传输线背离绝缘基底一侧。本发明提供的微机电系统开关及其制造方法,不仅可以简化开关结构、降低工艺复杂程度,而且可以减少悬臂变形和断裂的几率,提高悬臂的可靠性。
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