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公开(公告)号：CN113826321A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202080030398.7
申请日：2020-04-22
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 一种传感器装置，包括：基板，具有基板表面；第一IDT电极，设置在基板表面上；第二IDT电极，设置在基板表面上；波导；以及保护膜。波导设置在基板表面上并且在第一IDT电极与第二IDT电极之间。波导包括设置在基板表面上的第一固定层和设置在第一固定层上的第二固定层。当从平面图观察时，第二固定层设置在第一固定层的外边缘的内部。
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公开(公告)号：CN103562716B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201280025439.9
申请日：2012-07-30
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: G01N29/02 , G01N29/022 , G01N29/222 , G01N33/48707 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0423
Abstract: 为了提供不仅使用弹性表面波元件等检测元件而且具备吸引机构的生物传感器，设为如下构成，即具备：第1罩构件(1)，其在上表面具有元件收纳凹部(5)；检测元件(3)，其具有：收纳于元件收纳凹部(5)的元件基板(10)、以及位于元件基板(10)的上表面的与检体中所含的成分进行反应的至少1个检测部(13)；以及第2罩构件(2)，其与第1罩构件(1)接合以覆盖检测元件(3)，具有：检体所流入的流入口(14)、以及从流入口(14)起至少延伸至检测部上的槽部(15)。
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公开(公告)号：CN103562716A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201280025439.9
申请日：2012-07-30
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: G01N29/02 , G01N29/022 , G01N29/222 , G01N33/48707 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0423
Abstract: 为了提供不仅使用弹性表面波元件等检测元件而且具备吸引机构的生物传感器，设为如下构成，即具备：第1罩构件(1)，其在上表面具有元件收纳凹部(5)；检测元件(3)，其具有：收纳于元件收纳凹部(5)的元件基板(10)、以及位于元件基板(10)的上表面的与检体中所含的成分进行反应的至少1个检测部(13)；以及第2罩构件(2)，其与第1罩构件(1)接合以覆盖检测元件(3)，具有：检体所流入的流入口(14)、以及从流入口(14)起至少延伸至检测部上的槽部(15)。
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公开(公告)号：CN101573868B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780048433.2
申请日：2007-12-28
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H9/059 , H01L2224/11 , H03H9/1092 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种可靠性出色的弹性表面波装置及其制造方法。所述弹性表面波装置具有：传输弹性表面波的压电基板(1)、形成在压电基板(1)的第一主面上的IDT(2)、由光硬化性材料形成且通过覆盖IDT(2)的形成区域而与第一主面一起形成中空的收容空间(7)的保护罩(6)，在保护罩(6)的下端的区域具有含有产酸材料的产酸部。进而还具有形成在上述第一主面上并按照与IDT(2)连接的同时在保护罩(6)的外侧具有端部的方式从保护罩(6)的内侧向外侧引出的连接线(3)、和由绝缘材料形成且至少介于保护罩(6)的产酸部和连接线(3)之间而形成的接合膜(8)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1870425B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200610087834.6
申请日：2006-05-26
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 在压电基板(1)上，沿着在压电基板(1)上传播的弹性表面波的传播方向设置有多个IDT电极(2)～(7)，上述多个IDT电极(2)～(7)具有沿与传播方向垂直的方向延伸的多条电极指，同时，在多个IDT电极(2)～(7)中相邻两个IDT电极，分别由可变间距部分与固定间距部分来构成，可变间距部分的电极指间距趋向相邻两个IDT电极的边界逐渐变短，在两个可变间距部分中电极指间距的最小部位于从边界偏移单侧。从而，可以提供通频带宽较宽、插入损失较小、并且改善通频带的平坦性的弹性表面波装置。
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公开(公告)号：CN1870425A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610087834.6
申请日：2006-05-26
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 在压电基板(1)上，沿着在压电基板(1)上传播的弹性表面波的传播方向设置有多个IDT电极(2)～(7)，上述多个IDT电极(2)～(7)具有沿与传播方向垂直的方向延伸的多条电极指，同时，在多个IDT电极(2)～(7)中相邻两个IDT电极，分别由可变间距部分与固定间距部分来构成，可变间距部分的电极指间距趋向相邻两个IDT电极的边界逐渐变短，在两个可变间距部分中电极指间距的最小部位于从边界偏移单侧。从而，可以提供通频带宽较宽、插入损失较小、并且改善通频带的平坦性的弹性表面波装置。
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公开(公告)号：CN113924483A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202080037743.X
申请日：2020-05-29
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 传感器装置(1)包括具有基板表面的基板、第一IDT电极(11)、第二IDT电极(12)和波导(20)。第一IDT电极与第二IDT电极位于基板表面上。波导位于基板表面上，且位于第一IDT电极与第二IDT电极之间。第一IDT电极和第二IDT电极中的至少一个包括参考电极(11G、12G)和信号电极(11A、12A)，参考电极和信号电极各自包括多个电极指(11X、12X)，多个电极指沿一个方向并列布置。第一IDT电极和第二IDT电极中的所述至少一个与波导之间的距离短于在该一个方向上参考电极与信号电极之间的间隔。
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公开(公告)号：CN101573868A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200780048433.2
申请日：2007-12-28
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H9/059 , H01L2224/11 , H03H9/1092 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种可靠性出色的弹性表面波装置及其制造方法。所述弹性表面波装置具有：传输弹性表面波的压电基板(1)、形成在压电基板(1)的第一主面上的IDT(2)、由光硬化性材料形成且通过覆盖IDT(2)的形成区域而与第一主面一起形成中空的收容空间(7)的保护罩(6)，在保护罩(6)的下端的区域具有含有产酸材料的产酸部。进而还具有形成在上述第一主面上并按照与IDT(2)连接的同时在保护罩(6)的外侧具有端部的方式从保护罩(6)的内侧向外侧引出的连接线(3)、和由绝缘材料形成且至少介于保护罩(6)的产酸部和连接线(3)之间而形成的接合膜(8)。
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