溅射靶和其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1865490A

    公开(公告)日:2006-11-22

    申请号:CN200610059151.X

    申请日:2006-03-15

    Abstract: 本发明的目的是提供一种不含会造成环境污染的Cr的溅射靶,该溅射靶能形成具有很少颗粒的薄膜。本发明采用含有5-30wt%的钨;Al和Ti中的至少一种,其总含量为0.1-10wt%;氧含量为0.05wt%或更低;余量基本为Ni的溅射靶。优选溅射靶的平均颗粒粒径为100μm或更小,溅射靶的表面粗糙度Ra为10μm或更小。采用上述溅射靶进行溅射而得到的膜中的颗粒粒径为3μm或更大,颗粒数目小于2粒颗粒/cm2。

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