喷墨头和喷墨头的制造方法

    公开(公告)号:CN1421318A

    公开(公告)日:2003-06-04

    申请号:CN02152768.7

    申请日:2002-11-27

    Inventor: 德永博之

    Abstract: 上述的课题是喷墨头的制造方法,所述喷墨头是完整的多气泡喷墨的低成本化,通过具有以下步骤的喷墨头制造方法而实现。在基板上设置喷墨压力产生元件,在与喷墨压力产生元件相向的盘侧配置喷出口,使油墨内产生气泡,从该喷出口喷出油墨,其特征在于在陶瓷基板上形成油墨供给口的贯通孔的步骤、在该贯通孔内熔融填充无机物的步骤、使填充了无机物的基板的贯通孔部平坦化的步骤、在贯通孔部分被平坦化的基板表面上层叠高热传导材料层的层叠步骤、在该高热传导材料层上形成所述喷墨压力产生元件的步骤、在有所述喷墨压力产生元件的基板上形成有喷出口的油墨喷出部分的步骤、和从有该油墨喷出部分的基板除去所述填充材料的步骤。

    喷墨头和喷墨头的制造方法

    公开(公告)号:CN1193881C

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN02152768.7

    申请日:2002-11-27

    Inventor: 德永博之

    Abstract: 本发明提供喷墨头的制造方法,是通过以下步骤实现了高质量打印喷墨头制造的低成本化。在基板上设置喷墨压力产生元件,在与喷墨压力产生元件相向的盘侧配置喷出口,使油墨内产生气泡,从该喷出口喷出油墨,其特征在于在陶瓷基板上形成油墨供给口的贯通孔的步骤、在该贯通孔内熔融填充无机物的步骤、使填充了无机物的基板的贯通孔部平坦化的步骤、在贯通孔部分被平坦化的基板表面上层叠以多晶硅、钨或碳化硅为主成分的层的层叠步骤、在该以多晶硅、钨或碳化硅为主成分的层上形成所述喷墨压力产生元件的步骤、在有所述喷墨压力产生元件的基板上形成有喷出口的油墨喷出部分的步骤、和从有该油墨喷出部分的基板除去所述填充材料的步骤。

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