电场传感器的改进结构
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN118444035B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202410674805.8

    申请日:2024-05-29

    Abstract: 本发明提供一种电场传感器的改进结构,其中,电场感应组件包括敏感结构、旋转组件、小叶片与定子组件,敏感结构包括屏蔽电极与感应电极,屏蔽电极的第一部分位于感应电极外侧,屏蔽电极的第二部分嵌入在感应电极内部,定子组件的一部分位于屏蔽电极的第二部分内部,旋转组件的一部分位于定子组件内部,屏蔽电极和小叶片分别与旋转组件的第一端和第二端连接,定子组件通电后产生电磁场,旋转组件通过电磁场驱使屏蔽电极与小叶片同步旋转;控制组件包括与定子组件连接、向定子组件输入设定转速值的PID控制单元。本发明可以对电场传感器的内部空间进行合理利用,避免空间浪费,减小电场传感器的体积。

    宽频带电场传感器、电场传感器组件及电场检测方法

    公开(公告)号:CN119510913A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411632569.X

    申请日:2024-11-15

    Abstract: 本发明提供一种宽频带电场传感器、电场传感器组件及电场检测方法,包括衬底、至少一个动态感应电极与至少一个静态感应电极,衬底包括实体区域与凹陷区域,动态感应电极与静态感应电极间隔设置,动态感应电极的一部分附着在实体区域上,另一部分位于凹陷区域上,静态感应电极的一部分附着在实体区域上,另一部分位于凹陷区域上,其中:动态感应电极根据激励信号获得当前电场的至少一个直流电流信号,静态感应电极至少根据在当前电场中所感应的电荷获得当前电场的至少一个交流电流信号。本发明可以同时获得直流电流信号与交流电流信号,实现对直流电场与交流电场的良好检测,提高对于电场检测的敏感程度,拓宽电场传感器的检测频段。

    电场传感器及增加传感器的稳定性的方法

    公开(公告)号:CN118444033B

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202410674660.1

    申请日:2024-05-29

    Abstract: 本发明提供一种电场传感器及增加传感器的稳定性的方法,其中,电场感应组件包括屏蔽电极、感应电极、驱动部分、小叶片与光电管组件,光电管组件位于小叶片的一侧,获得小叶片的转速信号;控制组件包括数据处理单元、PID控制单元与转速采集单元,PID控制单元向驱动部分输入设定转速值;转速采集单元与光电管组件连接,将小叶片的转速信号转换为小叶片的转速值;数据处理单元在判断小叶片的转速值与设定转速值不一致时,根据判定结果将感应电极的信号频率调节至稳定状态。本发明可将感应电极的信号频率调节至稳定状态,增加传感器的稳定性,以提高交流电流信号的精确性,准确获得相对应的被测电场幅值。

    一种静电力调谐型MEMS电场传感器和检测方法

    公开(公告)号:CN114113814A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111408937.9

    申请日:2021-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种静电力调谐型MEMS电场传感器和控制方法,包括驱动电极、拾振电极、谐振结构、静电力敏感电极,静电力敏感电极与谐振结构相连,驱动电极用于与谐振结构之间形成驱动电容,拾振电极用于与谐振结构之间形成拾振电容,静电力敏感电极用于感应待测电场,引起谐振结构谐振频率的变化,拾振电极检测谐振结构谐振频率的变化,得到待测电场的检测结果。本申请通过在驱动电极上施加激励信号,引起谐振结构的谐振,静电力敏感电极在待测电场的静电力作用下,引起谐振结构的谐振频率的变化,拾振电极通过检测谐振频率的变化,实现对待测电场的测量,本传感器结构简单、易于制备、成本较低,有利于规模化网络化应用。

    一种自适应型MEMS电场传感器及其结构

    公开(公告)号:CN114113813A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111408915.2

    申请日:2021-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种自适应型MEMS电场传感器及其结构,包括可动接地电极、至少一个拾振参考电极、至少一个感应电极、至少一个驱动电极;所述拾振参考电极与可动接地电极之间形成电容,用于检测可动接地电极的振动情况;可动接地电极与感应电极相对部分,形成感应电极的屏蔽电极,感应电极用于感应外部电场;在驱动电极上施加激励信号,使可动接地电极处于谐振状态,检测拾振参考电极、感应电极的输出,以感应电极输出的解调感应电压除以拾振参考电极输出的解调参考电压,得到外部电场检测结果。通过自动调整激励信号及对输出进行修正,能够根据环境及结构参数变化进行自适应调整,实现对传感器输出漂移的补偿,极大提高MEMS传感器的测量准确性。

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