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公开(公告)号：CN115790438A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211364909.6
申请日：2022-11-02
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了基于点自聚焦原理的光探针测头，基于点自聚焦原理，利用自聚焦传感器实时跟踪被测齿面上物镜焦点的位置，并通过高精度直线光栅记录物镜位移量，进而实现微小齿轮全齿面数据的获取。包括照明光源、激光光源、透镜、自聚焦传感器、CCD相机、分光镜、z轴控制器、z轴移动平台、物镜、z轴光栅、差动共焦模块、反射镜；当被测物靠近或远离测头移动时，经过被测物表面反射的激光束在自聚焦传感器上的位置移动。自聚焦传感器将产生的偏差信号发送至z轴控制器，进而控制z轴移动平台移动，使物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置再次达到平衡。z轴光栅记录测头移动的位移量，并将该位移量作为被测物表面位置数据的变化量。
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公开(公告)号：CN115655110A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211364868.0
申请日：2022-11-02
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了点自聚焦原理的光探针测头精度自校准方法，该方法在光探针测头中配备差动共焦模块，利用差动共焦模块高精度的特点，使物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置严格对应。该方法既可用在光探针测头的装调阶段，也可以用于光探针测头的定期校准阶段。本方法中包含的差动共焦模块可用于校准物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置的对应关系，保证物镜焦点在被测物表面的同时，反射回的激光光斑也聚焦在自聚焦传感器的中心。本发明方法既可用在光探针测头的装调阶段，也可以用于光探针测头的定期校准阶段。有助于保证光探针测头的测量精度。本发明方法用途广泛，尤其适用于光探针测头定焦精度的校准。
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公开(公告)号：CN115655110B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202211364868.0
申请日：2022-11-02
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了点自聚焦原理的光探针测头精度自校准方法，该方法在光探针测头中配备差动共焦模块，利用差动共焦模块高精度的特点，使物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置严格对应。该方法既可用在光探针测头的装调阶段，也可以用于光探针测头的定期校准阶段。本方法中包含的差动共焦模块可用于校准物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置的对应关系，保证物镜焦点在被测物表面的同时，反射回的激光光斑也聚焦在自聚焦传感器的中心。本发明方法既可用在光探针测头的装调阶段，也可以用于光探针测头的定期校准阶段。有助于保证光探针测头的测量精度。本发明方法用途广泛，尤其适用于光探针测头定焦精度的校准。
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公开(公告)号：CN115638743A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211367285.3
申请日：2022-11-02
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了面向微小齿轮的光探针测量方法，该方法基于点自聚焦原理的光探针测头，首先利用标准球确定光探针测头的最大允许测量倾角，再确定测量不同模数齿轮需要的偏置距离，规划测量路径，进而实现微小齿轮全齿面数据的获取。本发明采用632.8nm波长的激光器，配备100倍的显微物镜，能够调出光斑直径小于1μm的激光光斑。可用于测量模数小于0.1mm微小齿轮的齿槽。本发明采用的测量路径，可有效减小齿面倾角过大引入的测量误差，提高了齿轮测量的测量精度。本方法用途广泛，尤其适用于微小齿轮的全齿面测量。
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