点自聚焦原理的光探针测头精度自校准方法

    公开(公告)号:CN115655110B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202211364868.0

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 本发明公开了点自聚焦原理的光探针测头精度自校准方法,该方法在光探针测头中配备差动共焦模块,利用差动共焦模块高精度的特点,使物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置严格对应。该方法既可用在光探针测头的装调阶段,也可以用于光探针测头的定期校准阶段。本方法中包含的差动共焦模块可用于校准物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置的对应关系,保证物镜焦点在被测物表面的同时,反射回的激光光斑也聚焦在自聚焦传感器的中心。本发明方法既可用在光探针测头的装调阶段,也可以用于光探针测头的定期校准阶段。有助于保证光探针测头的测量精度。本发明方法用途广泛,尤其适用于光探针测头定焦精度的校准。

    一种民生齿轮多面自动化视觉在线检测分选方法和装置

    公开(公告)号:CN115382775B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202210903308.1

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明公开了一种民生齿轮多面自动化视觉在线检测分选方法和装置,包括四个核心机构:玻璃转盘运动机构、自动调位和定位机构、民生齿轮多面图像自动采集机构和自动分选下料机构,均通过螺钉安装在设备桌面上,民生齿轮多面图像自动采集机构由下方检测工位、上方检测工位A、上方检测工位B和侧方检测工位组成。本发明可以实现民生齿轮的在线全检和分选下料过程的全自动化,极大地提高了检测效率和准确率。另外也解决了通用式视觉在线检测设备无法检测的民生齿轮侧面的问题。采用两个上方检测工位,解决了由于双联齿的大、小齿上端面存在高度差导致单个上方检测工位的工业镜头景深不足、无法同时清晰采集双联齿的大、小齿上端面的问题。

    面向微小齿轮的光探针测量方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115638743A

    公开(公告)日:2023-01-24

    申请号:CN202211367285.3

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 本发明公开了面向微小齿轮的光探针测量方法,该方法基于点自聚焦原理的光探针测头,首先利用标准球确定光探针测头的最大允许测量倾角,再确定测量不同模数齿轮需要的偏置距离,规划测量路径,进而实现微小齿轮全齿面数据的获取。本发明采用632.8nm波长的激光器,配备100倍的显微物镜,能够调出光斑直径小于1μm的激光光斑。可用于测量模数小于0.1mm微小齿轮的齿槽。本发明采用的测量路径,可有效减小齿面倾角过大引入的测量误差,提高了齿轮测量的测量精度。本方法用途广泛,尤其适用于微小齿轮的全齿面测量。

    用于激光追踪仪几何误差又一补偿装置

    公开(公告)号:CN109974586B

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201910320613.6

    申请日:2019-04-20

    Abstract: 本发明公开了用于激光追踪仪几何误差又一补偿装置,该补偿装置分为两个部分,即猫眼垂直移动结构和激光追踪仪回转结构。猫眼垂直移动结构分为立柱导轨结构、激光准直结构和定位误差补偿结构三个部分。激光追踪仪回转结构由激光追踪仪、电动二维平台和精密转台构成。本发明能够有效地补偿由几何误差引起的系统测量误差,提高激光追踪仪测量精度,同时也保证了基于多边法的激光跟踪测量系统的可靠性。

    基于激光追踪仪多站位测量系统的大型精密转台标定方法

    公开(公告)号:CN109884659B

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN201910161462.4

    申请日:2019-03-04

    Abstract: 本发明公开了基于激光追踪仪多站位测量系统的大型精密转台标定方法,搭建激光追踪仪多站位测量系统。基于Levenberg‑Marquardt算法的激光追踪仪站位自标定。参数μi选择。激光追踪仪站位坐标优化。转台转动轴圆心拟合。大型精密转台的定位精度标定。本发明利用Levenberg‑Marquardt算法及协方差矩阵的奇异值分解变换方法优化激光追踪仪站位坐标。通过建立优化后的激光追踪仪站位坐标与转台转动角度之间的几何关系模型标定转台的定位精度。所提出的基于激光追踪仪多站位测量系统的标定转台定位精度的方法适用于转台与三轴机床不联动的情况,特别适用于大型高精密转台。同时此方法能够为多轴机床的标定提供理论基础。

    基于外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量光学系统仿真方法

    公开(公告)号:CN109238132B

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201811064647.5

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 本发明公开了基于外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量光学系统仿真方法,本发明首先分析了基于直反射三光路激光外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量光学系统原理,然后根据光学系统原理利用ZEMAX建立基于直反射三光路激光外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量系统的能量仿真模型,并利用此能量仿真模型分析光学系统中各光学元件性能非理想对激光外差干涉信号能量的影响。本发明方法突破双基圆盘式渐开线样板亚微米级精度测量技术的瓶颈,建立新的测量模型,分析光学元件非理想对测量系统能量的影响。对直反射三光路激光外差干涉的双基圆盘式渐开线样板高精度测量光学系统设计,光学元件的选择,测量系统精度的提高具有指导意义。

    双轴式圆弧型大尺寸渐开线样板

    公开(公告)号:CN110398188A

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201910681693.8

    申请日:2019-07-26

    Abstract: 本发明公开了双轴式圆弧型大尺寸渐开线样板,样板采用近似的曲线圆弧代替大齿轮的标准理论渐开线。充分考虑大尺寸渐开线样板的尺寸特点和在大尺寸范围内结构刚性和温度对精度的影响,提出了双轴式圆弧型的结构基础。包括测量中心轴、定心轴、框架、基准块、V型块和夹箍。V型块上都打有四个阶梯形通孔,螺钉穿过阶梯形通孔旋入框架上的螺纹孔中,将V型块和框架紧固在一起。本发明为大尺寸齿轮渐开线量值传递体系的建立提供新思路。

    基于激光追踪仪多站位测量系统的大型精密转台标定方法

    公开(公告)号:CN109884659A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910161462.4

    申请日:2019-03-04

    Abstract: 本发明公开了基于激光追踪仪多站位测量系统的大型精密转台标定方法,搭建激光追踪仪多站位测量系统。基于Levenberg-Marquardt算法的激光追踪仪站位自标定。参数μi选择。激光追踪仪站位坐标优化。转台转动轴圆心拟合。大型精密转台的定位精度标定。本发明利用Levenberg-Marquardt算法及协方差矩阵的奇异值分解变换方法优化激光追踪仪站位坐标。通过建立优化后的激光追踪仪站位坐标与转台转动角度之间的几何关系模型标定转台的定位精度。所提出的基于激光追踪仪多站位测量系统的标定转台定位精度的方法适用于转台与三轴机床不联动的情况,特别适用于大型高精密转台。同时此方法能够为多轴机床的标定提供理论基础。

    基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法

    公开(公告)号:CN108917605A

    公开(公告)日:2018-11-30

    申请号:CN201810771009.0

    申请日:2018-07-13

    Abstract: 本发明公开了基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法,用于分析光学系统中各个光学元件的非理想对系统能量的影响,基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的光学系统原理,根据各个光学元件之间的结构,设置多重结构的参数,然后进行顺序调整,建立基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的模型。设定各光学元件的参数,分析干涉信号条纹对比度,实现光学系统最优化的参数设定,达到提高激光追踪测量系统测量精度的目的,对激光追踪测量光学系统设计和光学元件的选择具有指导意义。

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