公开(公告)号：CN114193318A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202111532741.0

申请日：2021-12-15

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  籍佩佩 ,  王寒山 ,  徐西鹏 ,  于怡青 ,  赖志远

IPC: B24B37/08 ,  B24B37/34 ,  B24B37/28 ,  B24B37/005 ,  B24B49/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。

公开(公告)号：CN114193318B

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202111532741.0

申请日：2021-12-15

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  籍佩佩 ,  王寒山 ,  徐西鹏 ,  于怡青 ,  赖志远

IPC: B24B37/08 ,  B24B37/34 ,  B24B37/28 ,  B24B37/005 ,  B24B49/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。