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公开(公告)号:CN112505107A
公开(公告)日:2021-03-16
申请号:CN202011472415.0
申请日:2020-12-14
Applicant: 南京大学
IPC: G01N27/12 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , C23C16/455 , C23C16/02 , C23C16/40 , C23C14/35 , C23C14/20 , C23C28/00 , C23C14/22 , C23C14/14
Abstract: 本发明公开了一种柔性超高灵敏度宽量程氢气传感器及其制备方法,属于氢气传感器领域,解决了氢气传感器的灵敏度低、检测量程窄、选择性差、工作温度高等缺点。本发明的传感器包括从上到下依次为导电电极层、敏感层、柔性衬底层;所述敏感层为MOx薄膜和Pd纳米粒子,所述Pd纳米粒子覆盖在MOx薄膜上;在柔性聚合物基底上利用原子层沉积和团簇束流沉积技术,将传统金属氧化物型氢气传感器和基于量子电导型氢气传感器结合起来,获得了一种柔性超高灵敏度宽量程、可低温工作的氢气传感器。
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公开(公告)号:CN116794116A
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202310623615.9
申请日:2023-05-29
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于无机‑有机杂化纳米多孔膜/半导体金属氧化物的薄膜氢气传感器及其制备方法,属于氢气传感器领域,本发明将传统半导体金属氧化物与介孔无机‑有机杂化层结合起来,在绝缘无机物或聚合物基底上利用分子层/原子层沉积技术,通过引入了一种多孔对苯二酚锌薄膜(Zn‑HQ),再沉积半导体金属氧化物(MO)薄膜,制备了MO/Zn‑HQ复合薄膜型氢气传感器,在无贵金属修饰的情况下,获得了灵敏度高、响应快速、选择性好、可低温工作的半导体氧化物薄膜型氢气传感器。该氢气传感器结构简单,氢敏性能出色,且制备工艺与微电子工艺兼容,便于应用于集成化、微型化与智能化的微机电系统与多功能传感器中。
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公开(公告)号:CN111678963A
公开(公告)日:2020-09-18
申请号:CN202010576334.9
申请日:2020-06-22
Applicant: 南京大学
Inventor: 李爱东 , A·丹尼尔·阿鲁拉杰 , 任强 , 吴迪
IPC: G01N27/327 , C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/50 , C23C14/24 , C23C14/16
Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法,属于生物传感器领域,实现了对多巴胺的快速电化学响应,具有低至0.4pM的检测限,优异选择性,且工艺简单、成本低廉,适合临床诊断和生理功能检测,特别是活体多巴胺静态基础值的测定。本发明的多巴胺生物传感器包括从上至下依次为HfO2超薄膜、导电硅衬底、Al电极;采用与半导体工艺兼容的热ALD或等离子体增强ALD在导电硅基底上低温沉积HfO2超薄膜;再在硅衬底背面蒸镀金属铝以形成良好的电学接触,即获得了多巴胺生物传感器。
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公开(公告)号:CN111816876B
公开(公告)日:2021-11-12
申请号:CN202010618435.8
申请日:2020-06-30
Applicant: 南京大学
IPC: H01M4/62 , H01M4/48 , H01M10/0525 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种以量子点@碳薄膜为保护层的锂离子电池阳极材料及其制备方法,属于锂离子电池材料与纳米制备技术领域,得到具有高容量、长循环寿命的量子点@碳/纳米氧化物核壳结构的锂离子电池负极材料。本发明在集流极(碳布、泡沫镍等)上使用水热法生长活性氧化物纳米结构(纳米棒、纳米球、纳米片等),再结合MLD技术和退火处理直接在纳米氧化物电极材料上沉积厚度可控的量子点@碳薄膜保护层。
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公开(公告)号:CN111678963B
公开(公告)日:2021-11-12
申请号:CN202010576334.9
申请日:2020-06-22
Applicant: 南京大学
Inventor: 李爱东 , A·丹尼尔·阿鲁拉杰 , 任强 , 吴迪
IPC: G01N27/327 , C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/50 , C23C14/24 , C23C14/16
Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法,属于生物传感器领域,实现了对多巴胺的快速电化学响应,具有低至0.4pM的检测限,优异选择性,且工艺简单、成本低廉,适合临床诊断和生理功能检测,特别是活体多巴胺静态基础值的测定。本发明的多巴胺生物传感器包括从上至下依次为HfO2超薄膜、导电硅衬底、Al电极;采用与半导体工艺兼容的热ALD或等离子体增强ALD在导电硅基底上低温沉积HfO2超薄膜;再在硅衬底背面蒸镀金属铝以形成良好的电学接触,即获得了多巴胺生物传感器。
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公开(公告)号:CN111816876A
公开(公告)日:2020-10-23
申请号:CN202010618435.8
申请日:2020-06-30
Applicant: 南京大学
IPC: H01M4/62 , H01M4/48 , H01M10/0525 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种以量子点@碳薄膜为保护层的锂离子电池阳极材料及其制备方法,属于锂离子电池材料与纳米制备技术领域,得到具有高容量、长循环寿命的量子点@碳/纳米氧化物核壳结构的锂离子电池负极材料。本发明在集流极(碳布、泡沫镍等)上使用水热法生长活性氧化物纳米结构(纳米棒、纳米球、纳米片等),再结合MLD技术和退火处理直接在纳米氧化物电极材料上沉积厚度可控的量子点@碳薄膜保护层。
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公开(公告)号:CN112505107B
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN202011472415.0
申请日:2020-12-14
Applicant: 南京大学
IPC: G01N27/12 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , C23C16/455 , C23C16/02 , C23C16/40 , C23C14/35 , C23C14/20 , C23C28/00 , C23C14/22 , C23C14/14
Abstract: 本发明公开了一种柔性超高灵敏度宽量程氢气传感器及其制备方法,属于氢气传感器领域,解决了氢气传感器的灵敏度低、检测量程窄、选择性差、工作温度高等缺点。本发明的传感器包括从上到下依次为导电电极层、敏感层、柔性衬底层;所述敏感层为MOx薄膜和Pd纳米粒子,所述Pd纳米粒子覆盖在MOx薄膜上;在柔性聚合物基底上利用原子层沉积和团簇束流沉积技术,将传统金属氧化物型氢气传感器和基于量子电导型氢气传感器结合起来,获得了一种柔性超高灵敏度宽量程、可低温工作的氢气传感器。
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公开(公告)号:CN112697033A
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN202011431259.3
申请日:2020-12-07
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度、宽响应范围柔性应力/应变传感器及其制备方法,属于传感器领域,获得具有超高灵敏度、超低检测限、宽拉伸范围、快响应时间和超高稳定性的柔性应力/应变传感器。本发明的柔性应力/应变传感器从下往上依次为具有筛网结构的可拉伸聚合物基底、金属薄膜、金属纳米颗粒@碳纳米管复合层、金属薄膜、聚合物保护膜;传感功能层为金属薄膜/金属纳米颗粒@碳纳米管复合层/金属薄膜,获得了超宽量程(应变0.02%~90%)和超高灵敏度(最高GF值为13590),快的响应速度(~100ms)和优异的循环稳定性(≥18000次)。且应用在人体运动检测、人体脉搏监测和声音检测等场景中,获得了较好的效果。
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