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公开(公告)号：CN105572423B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610042953.3
申请日：2016-01-22
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: G01Q30/18
Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统；所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室；所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体，摆脱了强磁场运行对液氦的依赖；与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触，制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上，可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力；扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件；扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤，满足实现超高真空的条件。
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公开(公告)号：CN114112928B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202111413280.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于非线性光学技术领域，具体为一种带有低温强磁场调控的非线性光学全参量表征系统。本发明系统包括主光路、低温样品腔、电机驱动机构和磁体；低温样品腔内设置有样品和反射式抛物面镜，主光路产生一束离轴入射光，光通过分光片进入低温样品腔，反射式抛物面镜将光以斜入射的形式聚焦到样品表面，出射的信号光被反射式抛物面镜收集变为平行光导出低温样品腔外，进入信号探测器；电机驱动机构驱动主光路中起偏器机构、相位掩膜版机构和检偏器机构等部件以入射光光轴为轴心进行旋转；低温样品腔放置于磁体内，样品的磁场环境受磁体控制。本发明实现了入射光的斜入射激发和信号光的斜出射探测，能够有效地实现非线性系数张量的全参量表征。
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公开(公告)号：CN114112928A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111413280.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于非线性光学技术领域，具体为一种带有低温强磁场调控的非线性光学全参量表征系统。本发明系统包括主光路、低温样品腔、电机驱动机构和磁体；低温样品腔内设置有样品和反射式抛物面镜，主光路产生一束离轴入射光，光通过分光片进入低温样品腔，反射式抛物面镜将光以斜入射的形式聚焦到样品表面，出射的信号光被反射式抛物面镜收集变为平行光导出低温样品腔外，进入信号探测器；电机驱动机构驱动主光路中起偏器机构、相位掩膜版机构和检偏器机构等部件以入射光光轴为轴心进行旋转；低温样品腔放置于磁体内，样品的磁场环境受磁体控制。本发明实现了入射光的斜入射激发和信号光的斜出射探测，能够有效地实现非线性系数张量的全参量表征。
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公开(公告)号：CN110144553A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910280729.1
申请日：2019-04-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法。本发明系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本发明通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统中的氧管、高能电子衍射、样品加热组件进行修改以及对样品架、样品托重新设计，实现大样品均匀生长。本发明制备的样品具有生长面积大、表面平整、无颗粒物、各区域物理性质一致的优点。本发明方法可通过控制激光光路、靶台等设备，实现样品的自动和手动生长。
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公开(公告)号：CN105571190B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610002349.8
申请日：2016-01-06
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B9/002 , F25B9/145 , F25B49/02 , F25B2309/001 , F25B2309/14 , F25B2309/1428
Abstract: 本发明属于极低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，氦气热交换气致冷隔振系统，极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统。本发明提供的制冷方式能够在不需要消耗液氦的条件下实现低至1.4 K（基于氦4媒质）或0.2 K（基于氦3媒质）的极低温，同时能够非常有效的隔离闭循环制冷机系统固有的机械振动；通过温度反馈控制系统能够实现变温调控。本发明还可适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103901232B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201410091094.8
申请日：2014-03-13
Applicant: 复旦大学
IPC: G01Q60/10
Abstract: 本发明公开了一种利用闭循环制冷机致冷的低温扫描隧道显微镜，包括：闭循环制冷机系统；氦气热交换气致冷隔振界面系统；低温扫描隧道显微镜扫描头系统；真空系统；减振平台；扫描隧道显微镜控制系统。本发明可以在无需液氦消耗的条件下实现与采用液氦致冷系统相比拟的原子级分辨的低温超高真空扫描隧道显微空间成像和高能量分辨的扫描隧道谱精密测量。本发明提供的利用闭循环制冷的技术方案也可用于其他需要低温和低振动环境的应用，如扫描探针显微镜家族的其他成员。通过加热元件和测温元件的反馈组合也可以实现大范围的变温。
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公开(公告)号：CN113405270A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110535735.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 复旦大学
IPC: F25B9/00 , F25B49/00 , F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/03
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响，大大提高低温设备的运行精度，且成本低，占地面积小。
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公开(公告)号：CN106679217B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201611170525.5
申请日：2016-12-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统，在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦，不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动，还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统，不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度，还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号：CN106679217A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611170525.5
申请日：2016-12-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B49/02 , F25B2309/1428 , F25B2500/13 , F25B2700/04 , F25B2700/21 , F25B2700/2116
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统，在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦，不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动，还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统，不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度，还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号：CN105572423A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610042953.3
申请日：2016-01-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统；所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室；所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体，摆脱了强磁场运行对液氦的依赖；与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触，制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上，可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力；扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件；扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤，满足实现超高真空的条件。
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