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公开(公告)号：CN110144553B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201910280729.1
申请日：2019-04-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法。本发明系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本发明通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统中的氧管、高能电子衍射、样品加热组件进行修改以及对样品架、样品托重新设计，实现大样品均匀生长。本发明制备的样品具有生长面积大、表面平整、无颗粒物、各区域物理性质一致的优点。本发明方法可通过控制激光光路、靶台等设备，实现样品的自动和手动生长。
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公开(公告)号：CN113405270B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202110535735.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 复旦大学
IPC: F25B9/00 , F25B49/00 , F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/03
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响，大大提高低温设备的运行精度，且成本低，占地面积小。
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公开(公告)号：CN113957397B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202111232287.7
申请日：2021-10-22
Applicant: 埃频(上海)仪器科技有限公司 , 复旦大学
Abstract: 本发明公开一种脉冲激光分子束外延装置，包括靶台及控制模块。其中，靶台安装于安装法兰盘上，且包括无磁材料制成的公转平台及垂直设置于公转平台上的至少一个靶位，公转平台及靶位能够在控制模块的控制下分别绕各自的中心轴旋转，此外，各靶位之间互不干涉。同时，控制模块还可以驱动靶台的运动。
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公开(公告)号：CN110144553A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910280729.1
申请日：2019-04-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法。本发明系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本发明通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统中的氧管、高能电子衍射、样品加热组件进行修改以及对样品架、样品托重新设计，实现大样品均匀生长。本发明制备的样品具有生长面积大、表面平整、无颗粒物、各区域物理性质一致的优点。本发明方法可通过控制激光光路、靶台等设备，实现样品的自动和手动生长。
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公开(公告)号：CN105571190B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610002349.8
申请日：2016-01-06
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B9/002 , F25B9/145 , F25B49/02 , F25B2309/001 , F25B2309/14 , F25B2309/1428
Abstract: 本发明属于极低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，氦气热交换气致冷隔振系统，极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统。本发明提供的制冷方式能够在不需要消耗液氦的条件下实现低至1.4 K（基于氦4媒质）或0.2 K（基于氦3媒质）的极低温，同时能够非常有效的隔离闭循环制冷机系统固有的机械振动；通过温度反馈控制系统能够实现变温调控。本发明还可适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108417709A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810111023.8
申请日：2018-02-05
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于多值存储和逻辑运算技术领域，具体为一种集多值存储与逻辑运算于一体的器件单元及其操作方法。本发明器件单元包括由复杂强关联氧化物薄膜制备成的微纳米线、生长薄膜的衬底以及在其表面微纳加工得到的多对侧栅电极。当在侧栅电极上施加多对电压，可局域调控复杂强关联氧化物微纳米线金属绝缘体转变，实现多值信息存储。同时在该器件上可实现“非”、“与非”、“或非”等逻辑运算。采用电场调控读写数据，有利于降低器件存储单元功耗，同时将多值存储和逻辑运算集于同一器件单元，可简化器件结构，提高集成度。采用不同对电极写入数据，有利于独立的对各对电极进行调控和优化。
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公开(公告)号：CN106252204B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610736892.0
申请日：2016-08-29
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/02 , H01L21/033 , H01L21/311
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种将庞磁阻锰氧化物薄膜在纳米尺度图形化的方法。本发明首先在已经生长了庞磁阻锰氧化物薄膜的钛酸锶衬底上旋涂电子束光刻胶并烘烤，然后使用电子束直写光刻技术曝光所需纳米尺度图形版图，显影定影后得到所需纳米尺度图形的胶掩蔽图形，然后沉积铝金属薄膜，之后去胶剥离出铝金属掩蔽图形，再使铝金属掩蔽层氧化后转化为氧化铝掩蔽层，然后用离子束刻蚀庞磁阻锰氧化物薄膜层形成庞磁阻锰氧化物图形，最后去掉氧化铝掩蔽层并清洗衬底。本发明解决了电子束胶在离子束刻蚀时与庞磁阻锰氧化物层刻蚀速率比差的问题，降低电子束胶的厚度需求，提高电子束直写光刻的分辨率；本发明也解决了有些电子束胶在刻蚀后难以去除的问题。
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公开(公告)号：CN105572423B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610042953.3
申请日：2016-01-22
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: G01Q30/18
Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统；所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室；所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体，摆脱了强磁场运行对液氦的依赖；与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触，制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上，可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力；扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件；扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤，满足实现超高真空的条件。
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公开(公告)号：CN106169416A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201610736893.5
申请日：2016-08-29
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/027
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种极紫外掩模的制造方法。本发明首先将极紫外掩模的总版图拆分并且添加电子束光刻对准标记，在基板衬底上旋涂光刻胶后使用激光直写技术制作大面积微米尺度胶掩蔽图形和电子束光刻对准标记胶掩蔽图形，然后刻蚀铬金属膜吸收层，之后去除光刻胶并清洗基板，再旋涂电子束光刻胶，利用对准标记进行精确定位的电子束直写得到纳米尺度图形的胶掩蔽图形，然后用反应离子各向异性刻蚀吸收体材料铬，之后去除电子束光刻胶，最后清洗并检测掩模板。本方法能制造出同时拥有高分辨率的纳米尺度图形和低分辨率的大面积微米尺度图形的极紫外掩模，弥补了单纯依靠激光直写低分辨率的缺点，解决了单纯依靠电子束直写低效率的问题。
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公开(公告)号：CN116949396A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310882307.8
申请日：2023-07-18
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于射频微波技术领域，具体为一种BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备办法。本发明方法包括：精确标定出各BaxSr1‑xTiO3成分的薄膜和衬底组合的微波介电谐振的工作温区；通过相场模型描绘铁电极化P在畴壁区域的实际分布，并结合分子动力学方法计算畴壁区域的原子运动轨迹，寻找局域性的声子散射模式，厘清ωr反转的微观机制；应用上述理论，以BaTiO3和SrTiO3的靶材，设计实现梯度成分的BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备。本发明设计的BaxSr1‑xTiO3薄膜通过平均各单一成分在薄膜整体介电响应中的贡献，提升了薄膜的微波介电性能对温度的响应，为解决器件在实际应用中的发热问题提供解决方案。
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