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公开(公告)号：CN110144553A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910280729.1
申请日：2019-04-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法。本发明系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本发明通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统中的氧管、高能电子衍射、样品加热组件进行修改以及对样品架、样品托重新设计，实现大样品均匀生长。本发明制备的样品具有生长面积大、表面平整、无颗粒物、各区域物理性质一致的优点。本发明方法可通过控制激光光路、靶台等设备，实现样品的自动和手动生长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108417709A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810111023.8
申请日：2018-02-05
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于多值存储和逻辑运算技术领域，具体为一种集多值存储与逻辑运算于一体的器件单元及其操作方法。本发明器件单元包括由复杂强关联氧化物薄膜制备成的微纳米线、生长薄膜的衬底以及在其表面微纳加工得到的多对侧栅电极。当在侧栅电极上施加多对电压，可局域调控复杂强关联氧化物微纳米线金属绝缘体转变，实现多值信息存储。同时在该器件上可实现“非”、“与非”、“或非”等逻辑运算。采用电场调控读写数据，有利于降低器件存储单元功耗，同时将多值存储和逻辑运算集于同一器件单元，可简化器件结构，提高集成度。采用不同对电极写入数据，有利于独立的对各对电极进行调控和优化。
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公开(公告)号：CN118748907A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410785257.6
申请日：2024-06-18
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于N型碲单质半导体的非线性霍尔整流器及其制备方法。本发明制备方法包括水热法生长碲纳米片，微纳工艺将样品制成霍尔长条，蒸镀镍/金作为接触电极，整体覆盖有氧化铝薄膜用于载流子浓度调节与器件保护。本发明的整流器依托于非线性霍尔效应产生的谐振信号与整流信号，在经过氧化铝调节后，可以将P型碲调控为N型碲，进一步通过施加背栅压，费米能级接近导带底Weyl点，得到很强的非线性霍尔整流信号。本发明得到的碲的器件在室温下表现出很高性能的整流电压响应度，可达1.7×106 V/W。
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公开(公告)号：CN108417709B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201810111023.8
申请日：2018-02-05
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于多值存储和逻辑运算技术领域，具体为一种集多值存储与逻辑运算于一体的器件单元及其操作方法。本发明器件单元包括由复杂强关联氧化物薄膜制备成的微纳米线、生长薄膜的衬底以及在其表面微纳加工得到的多对侧栅电极。当在侧栅电极上施加多对电压，可局域调控复杂强关联氧化物微纳米线金属绝缘体转变，实现多值信息存储。同时在该器件上可实现“非”、“与非”、“或非”等逻辑运算。采用电场调控读写数据，有利于降低器件存储单元功耗，同时将多值存储和逻辑运算集于同一器件单元，可简化器件结构，提高集成度。采用不同对电极写入数据，有利于独立的对各对电极进行调控和优化。
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公开(公告)号：CN110144553B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201910280729.1
申请日：2019-04-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法。本发明系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本发明通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统中的氧管、高能电子衍射、样品加热组件进行修改以及对样品架、样品托重新设计，实现大样品均匀生长。本发明制备的样品具有生长面积大、表面平整、无颗粒物、各区域物理性质一致的优点。本发明方法可通过控制激光光路、靶台等设备，实现样品的自动和手动生长。
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公开(公告)号：CN210163516U
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201920470169.1
申请日：2019-04-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统。本实用新型系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本实用新型通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统中的氧气管、反射式高能电子衍射仪、样品加热组件进行修改以及对样品架、样品托重新设计，实现大样品均匀生长。本实用新型制备的样品具有生长面积大、表面平整、无颗粒物、各区域物理性质一致的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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