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公开(公告)号：CN113405270A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110535735.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 复旦大学
IPC: F25B9/00 , F25B49/00 , F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/03
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响，大大提高低温设备的运行精度，且成本低，占地面积小。
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公开(公告)号：CN106679217B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201611170525.5
申请日：2016-12-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统，在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦，不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动，还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统，不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度，还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号：CN106169416B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201610736893.5
申请日：2016-08-29
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/027
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种极紫外掩模的制造方法。本发明首先将极紫外掩模的总版图拆分并且添加电子束光刻对准标记，在基板衬底上旋涂光刻胶后使用激光直写技术制作大面积微米尺度胶掩蔽图形和电子束光刻对准标记胶掩蔽图形，然后刻蚀铬金属膜吸收层，之后去除光刻胶并清洗基板，再旋涂电子束光刻胶，利用对准标记进行精确定位的电子束直写得到纳米尺度图形的胶掩蔽图形，然后用反应离子各向异性刻蚀吸收体材料铬，之后去除电子束光刻胶，最后清洗并检测掩模板。本方法能制造出同时拥有高分辨率的纳米尺度图形和低分辨率的大面积微米尺度图形的极紫外掩模，弥补了单纯依靠激光直写低分辨率的缺点，解决了单纯依靠电子束直写低效率的问题。
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公开(公告)号：CN106679217A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611170525.5
申请日：2016-12-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B49/02 , F25B2309/1428 , F25B2500/13 , F25B2700/04 , F25B2700/21 , F25B2700/2116
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统，在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦，不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动，还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统，不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度，还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号：CN105572423A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610042953.3
申请日：2016-01-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统；所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室；所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体，摆脱了强磁场运行对液氦的依赖；与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触，制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上，可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力；扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件；扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤，满足实现超高真空的条件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105571190A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610002349.8
申请日：2016-01-06
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B9/002 , F25B9/145 , F25B49/02 , F25B2309/001 , F25B2309/14 , F25B2309/1428
Abstract: 本发明属于极低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，氦气热交换气致冷隔振系统，极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统。本发明提供的制冷方式能够在不需要消耗液氦的条件下实现低至1.4 K（基于氦4媒质）或0.2 K（基于氦3媒质）的极低温，同时能够非常有效的隔离闭循环制冷机系统固有的机械振动；通过温度反馈控制系统能够实现变温调控。本发明还可适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号：CN119710907A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411827594.3
申请日：2024-12-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种复杂氧化物界面一维体系的制备方法。该方法利用脉冲激光沉积技术，基于衬底本身的台阶结构，通过沿台阶流动的生长方式制备复杂氧化物的新型一维纳米材料，其包括：在衬底上外延生长材料S，厚度为1个台阶高度，横向宽度为L1；在衬底上或者在材料S上沿新的台阶边缘横向外延生长材料B，横向宽度为L2，厚度为1个台阶高度；将L1+L2作为一个周期，重复生长n个周期；重复上述步骤，在纵向方向上实现N个重复，即实现复杂氧化物新型界面一维体系的制备。本发明方法开拓了一种新的材料界面调控途径，并且可以推广到其他关联体系，为全氧化物自旋电子器件的研发奠定物理基础。
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公开(公告)号：CN119710906A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411819211.8
申请日：2024-12-11
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于凝聚态物理和材料科学技术领域，具体为一种超薄单晶铁电PZT薄膜及其制备方法。本发明采用脉冲激光沉积PLD方法，用脉冲激光轰击PZT靶材将单晶铁电PZT薄膜生长在单晶衬底上；沉积过程包括两个阶段：单晶层生长阶段和快速降温阶段；本发明方法简单易于操作，通过控制PLD生长时的激光能量、衬底沉积生长温度和氧压来实现超薄铁电单晶薄膜的生长。本发明中，利用高能电子衍射仪RHEED实时监控生长过程，确保了生长时薄膜晶体质量及厚度，通过原子力显微镜观察所制备的样品表明形貌，证实了其表面的原子级平整度；本发明在单晶衬底上生长的PZT薄膜，在最薄只有2层晶格时依然保持铁电性，并可实现铁电极化翻转。
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公开(公告)号：CN110144553B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201910280729.1
申请日：2019-04-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积原子级精度激光分子束外延薄膜制备系统及方法。本发明系统包括快速进样室、主腔及其配件、准分子激光器、气体传输组件、机械泵以及若干个分子泵。本发明通过利用二轴步进电机对激光光路中的全反镜进行控制，对系统中的氧管、高能电子衍射、样品加热组件进行修改以及对样品架、样品托重新设计，实现大样品均匀生长。本发明制备的样品具有生长面积大、表面平整、无颗粒物、各区域物理性质一致的优点。本发明方法可通过控制激光光路、靶台等设备，实现样品的自动和手动生长。
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公开(公告)号：CN113405270B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202110535735.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 复旦大学
IPC: F25B9/00 , F25B49/00 , F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/03
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响，大大提高低温设备的运行精度，且成本低，占地面积小。
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