氮化物半导体激光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1983751A

    公开(公告)日:2007-06-20

    申请号:CN200610163101.6

    申请日:2006-11-30

    CPC classification number: H01S5/227

    Abstract: 本发明公开了一种氮化物半导体激光元件及其制造方法。所述半导体激光元件包括:基板;设置在该基板表面的氮化物半导体层,该氮化物半导体层包括产生激光的有源层和防止有源层的恶化的防蒸镀层;形成在该氮化物半导体中以作为光限定区域的条形波导;由解理该氮化物半导体层而形成的镜面;和形成在该镜面的至少在该条形波导的一侧的沟槽,该沟槽形成为在该氮化物半导体层的表面具有开口的雕刻区域,该沟槽具有位于该防蒸镀层的附近的底表面。形成在镜面上的表面变形通过设置在该表面变形起始位置附近的该沟槽重置,从而防止了表面变形在发射激光的条形波导中形成。这使得高产率制造氮化物半导体激光元件成为可能。

    半导体激光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN111541147A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN202010078046.0

    申请日:2020-02-02

    Abstract: 本发明实现激光发光的损失小的半导体激光元件及其制造方法。半导体激光元件的特征在于,具备:基板;第一导电型半导体层,其形成在基板上;发光层,其形成在第一导电型半导体层上;第二导电型半导体层,其形成在发光层上,并具有条纹状的凸部;透明导电层,其在第二导电型半导体层的凸部上形成;导电性的保护层,其形成在透明导电层上;介电膜,其对第二导电型半导体层的凸部的侧面、透明导电层的侧面以及保护层的侧面进行覆盖;以及上部电极,其形成在保护层上,透明导电层的上表面的整个面由保护层覆盖,保护层的上表面的一部分由介电膜覆盖。

    氮化物半导体激光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1983751B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200610163101.6

    申请日:2006-11-30

    CPC classification number: H01S5/227

    Abstract: 本发明公开了一种氮化物半导体激光元件及其制造方法。所述半导体激光元件包括:基板;设置在该基板表面的氮化物半导体层,该氮化物半导体层包括产生激光的有源层和防止有源层的恶化的防蒸镀层;形成在该氮化物半导体中以作为光限定区域的条形波导;由解理该氮化物半导体层而形成的镜面;和形成在该镜面的至少在该条形波导的一侧的沟槽,该沟槽形成为在该氮化物半导体层的表面具有开口的雕刻区域,该沟槽具有位于该防蒸镀层的附近的底表面。形成在镜面上的表面变形通过设置在该表面变形起始位置附近的该沟槽重置,从而防止了表面变形在发射激光的条形波导中形成。这使得高产率制造氮化物半导体激光元件成为可能。

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