半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101926007A

    公开(公告)日:2010-12-22

    申请号:CN200980102945.1

    申请日:2009-01-23

    Abstract: 提供一种实现兼顾高导通电流和低截止电流的半导体元件及其制造方法。本发明的半导体元件具备:玻璃基板1;半导体层4,其为岛状,具有第1区域4c、第2区域4a和第3区域4c;源极区域5a和漏极区域5b;源极电极6a;漏极电极6b;以及栅极电极2,其控制第1区域4c的导电性。第1区域4c的上表面位于比第2区域4a和第3区域4b中的第1区域4c侧的端部的上表面靠近玻璃基板1侧的位置,从第2区域4a和第3区域4b的端部的上表面到第1区域4c的上表面的、在半导体层4的厚度方向上的距离相互独立地为第1区域4b的厚度的1倍以上7倍以下。

    半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101926007B

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN200980102945.1

    申请日:2009-01-23

    Abstract: 提供一种实现兼顾高导通电流和低截止电流的半导体元件及其制造方法。本发明的半导体元件具备:玻璃基板1;半导体层4,其为岛状,具有第1区域4c、第2区域4a和第3区域4c;源极区域5a和漏极区域5b;源极电极6a;漏极电极6b;以及栅极电极2,其控制第1区域4c的导电性。第1区域4c的上表面位于比第2区域4a和第3区域4b中的第1区域4c侧的端部的上表面靠近玻璃基板1侧的位置,从第2区域4a和第3区域4b的端部的上表面到第1区域4c的上表面的、在半导体层4的厚度方向上的距离相互独立地为第1区域4b的厚度的1倍以上7倍以下。

    有源矩阵基板和多路分配电路

    公开(公告)号:CN110223985B

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN201910156705.5

    申请日:2019-03-01

    Abstract: 提供一种有源矩阵基板,其具备具有能降低沟道长度的氧化物半导体TFT的多路分配电路。有源矩阵基板具备包含多个TFT的多路分配电路,各TFT具有:栅极电极;氧化物半导体层,其包含源极接触区域、漏极接触区域以及包含沟道区域的源极漏极间区域;沟道保护层,其仅覆盖源极漏极间区域的一部分;以及源极电极和漏极电极,该源极电极与源极接触区域接触,该漏极电极与漏极接触区域接触,在各TFT的沟道长度方向的一截面中,源极电极和漏极电极中的任意一方电极的沟道区域侧的端部与沟道保护层接触,另一方电极的沟道区域侧的端部与沟道保护层空开间隔配置。

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