公开(公告)号：CN110382731A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201880015841.6

申请日：2018-03-30

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 曾根康子 ,  川崎博司 ,  广部吉纪 ,  小幡胜也 ,  成田亚沙子 ,  居城均 ,  初田千秋

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 一种蒸镀掩模，其将设置有金属掩模开口部的金属掩模、和在与上述金属掩模开口部重合的位置设置有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模层叠而成，从上述金属掩模开口部露出的上述树脂掩模的表面的算术平均高度(Sa)为0.8μm以下。

公开(公告)号：CN110382731B

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN201880015841.6

申请日：2018-03-30

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 曾根康子 ,  川崎博司 ,  广部吉纪 ,  小幡胜也 ,  成田亚沙子 ,  居城均 ,  初田千秋

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 一种蒸镀掩模，其将设置有金属掩模开口部的金属掩模、和在与上述金属掩模开口部重合的位置设置有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模层叠而成，从上述金属掩模开口部露出的上述树脂掩模的表面的算术平均高度(Sa)为0.8μm以下。