蒸镀掩模的制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116356252B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202310424015.X

    申请日:2020-10-09

    Abstract: 本公开提供蒸镀掩模的制造方法。一种蒸镀掩模的制造方法,其具备:准备金属板的工序,该金属板具备第1面和位于上述第1面的相反侧的第2面;以及加工工序,在上述金属板上形成两个以上的贯通孔,上述加工工序包含:第1面蚀刻工序,通过对上述第1面进行蚀刻而在上述第1面形成两个以上的第1凹部;利用树脂覆盖上述第1凹部的工序;第2面蚀刻工序,通过对上述第2面进行蚀刻而在上述第2面形成与上述两个以上的第1凹部连接的两个以上的第2凹部;以及除去上述树脂的工序,上述第1凹部包含形成有凹陷部的壁面、或者上述第2凹部包含形成有凹陷部的壁面。

    蒸镀掩模的制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116356252A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310424015.X

    申请日:2020-10-09

    Abstract: 本公开提供蒸镀掩模的制造方法。一种蒸镀掩模的制造方法,其具备:准备金属板的工序,该金属板具备第1面和位于上述第1面的相反侧的第2面;以及加工工序,在上述金属板上形成两个以上的贯通孔,上述加工工序包含:第1面蚀刻工序,通过对上述第1面进行蚀刻而在上述第1面形成两个以上的第1凹部;利用树脂覆盖上述第1凹部的工序;第2面蚀刻工序,通过对上述第2面进行蚀刻而在上述第2面形成与上述两个以上的第1凹部连接的两个以上的第2凹部;以及除去上述树脂的工序,上述第1凹部包含形成有凹陷部的壁面、或者上述第2凹部包含形成有凹陷部的壁面。

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