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公开(公告)号：CN114397047B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202111497528.0
申请日：2021-12-09
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01L1/20
Abstract: 本发明提供一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法，属于微机电系统(MEMS)和微纳米加工技术领域。首先，选择两个相同的施主基片A、B，在施主基片A、B表面均沉积一层牺牲层。其次，在施主基片A的牺牲层表面沉积一层聚对二甲苯，并在聚对二甲苯表面通过光刻工艺制作金叉指电极结构。再次，在施主基片B的牺牲层表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷，并在聚二甲基硅氧烷基表面通过喷涂工艺制作碳纳米管导电薄膜。最后，将金叉指电极结构对准碳纳米管导电薄膜贴合并放置在水中，溶解去除牺牲层PAA，得到超薄柔性压力传感器。本发明具有工艺简单、通用性好的特点，通用性好且制备过程柔和没有应力产生，不会破坏超薄柔性压力传感器。
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公开(公告)号：CN115855298A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211522454.6
申请日：2022-11-30
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01K7/16
Abstract: 本发明提供一种柔性热电阻式温度传感器及制备方法，属于微机电系统和微加工技术领域。所述的柔性热电阻式温度传感器由一层图形化的柔性聚合物衬底和一层传感材料薄膜组成。本发明提出的柔性热电阻式温度传感器采用的是一种图形化的柔性聚合物衬底，即将传感材料薄膜的图形化转变为柔性聚合物衬底的图形化，使得传感器的制备过程简单，避免了采用光刻等与大多数聚合物材料不兼容的加工工艺，同时显著减小了传感器的热容，有助于缩短传感器的热响应时间。
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公开(公告)号：CN119177418A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411302773.5
申请日：2024-09-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种基于纳米裂纹的水声传感器及其制备方法，属于水听器技术领域。该方法首先，采在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜，在柔性聚合物上金属薄膜表面旋涂一层光刻胶，将光刻胶和金属薄膜图案化；其次，对金属薄膜上的光刻胶再次进行图案化；再次，对柔性聚合物和金属薄膜进行弯曲使金属薄膜上产生纳米裂纹；最后，将柔性聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯、玻璃片粘连，并在空腔内注入纯水后密封，得到水声传感器。本发明制造的基于纳米裂纹的水声传感器具有超高的灵敏度，通过将具有超高灵敏度和柔性的纳米裂纹传感单元粘连在具有空腔的基板上，可以实现对低频水声的超灵敏探测，提高了水声传感器的探测范围。
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公开(公告)号：CN117046531A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310688303.6
申请日：2023-06-12
Applicant: 大连理工大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明属于微流控芯片技术领域，提供一种基于体声波的多功能微流控芯片，是一种基于体声波的用于颗粒浓缩、清洗和液体置换的微流控芯片，该系统包括设置在芯片本体中的微流道结构和压电换能器，微流道结构包括入口区、聚焦区、分选区和出口区，压电换能器粘接在芯片底部。入口区的两侧入口通入含颗粒的样品液体，中央入口通入另一种不含颗粒的样品液；聚焦区用于实现颗粒的聚焦和所处溶液的置换；分选区用于实现目标颗粒的分选以及液体的高倍率浓缩；出口区液体流入不同的流路以便于收集。本发明能够高效地实现生物化学样品颗粒的清洗和高倍率浓缩，能够适用于各种复杂样品的快速处理，可以广泛应用于生物制药和环境监测等领域。
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公开(公告)号：CN113769800A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111069011.1
申请日：2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 一种用于离心式微流控芯片的试剂隔离结构及制作方法，试剂隔离结构中的腔室a与毛细阀a，腔室b与毛细阀b，毛细阀a与毛细阀b分别通过微流道a，微流道b，微流道c进行连接。首先将两种试剂分别通过进样孔a、b注入腔室a、b。其次在进样完成后利用密封薄膜贴住出气孔a、b。最后微流控芯片在离心过程中由于毛细阀a、b的作用下完成试剂间的分隔。制作方法：先制作光刻胶模具的背部标记点，制作光刻胶模具的粘附层，再制作光刻胶模具，最后进行柔性聚合物浇铸及剥离。本发明通过在腔室之间利用毛细阀设计出试剂分隔结构，可实现腔室内的试剂间的分隔，提高最终检测结果的可靠性，受外界干扰影响小，稳定性好；结构简单，工艺流程简单高效。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119238950A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411467297.2
申请日：2024-10-21
Applicant: 大连理工大学
IPC: B29C64/124 , B29C64/379 , B29C64/176 , B29C64/30 , B33Y10/00 , B33Y40/20 , B33Y40/00 , B33Y80/00
Abstract: 本发明提供一种基于仿生纤毛的水声传感器一体化集成制造模型及方法，属于水声传感器制造领域，包括用于实现打印的光固化打印设备和两种基于仿生纤毛的水声传感器一体化集成制造打印模型，分别应用在第一次打印中实现打印定位功能、在第二次打印中实现结构保护功能。并提供一种通过改良打印流程来保护脆弱结构的光固化打印方法。本发明能够通过光固化打印在水声传感器基座上直接形成仿生纤毛，有效避免传统胶水粘接方法在仿生纤毛底部留下胶水残余导致对水声传感器性能产生不利影响；有效避免了人工目测定位导致的定位不准问题；有效保护传感器基座表面脆弱的十字梁结构。
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公开(公告)号：CN117323943A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311543805.6
申请日：2023-11-20
Applicant: 大连理工大学
IPC: B01J19/00
Abstract: 本发明提供一种多路微流体控制装置及其控制方法，属于微流控技术领域，应用于各类微反应器或微流控芯片中。本装置包括人机交互界面、微控制模块、多个二通流体控制电磁阀和电源管理模块，由微控制模块控制的彼此独立的多个二通流体控制电磁阀，以及负责供电的电源管理模块。电磁阀通过各类接头安装在各类微反应器或微流控芯片的出口和入口管路中，多个电磁阀的通断配合能够起到控制流体系统中的液路通断的作用，进而实现控制微反应器中反应进程的功能。本发明可以根据不同的应用场景灵活地配合流体系统，可用于各种微流体系统实现流体和微反应器的控制，具有操作简单、实用性强、功能多样等优点，可以广泛应用于微流体控制领域。
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公开(公告)号：CN116786188A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310688076.7
申请日：2023-06-12
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种集成接口的防漏液微流控芯片夹具，属于微流控芯片技术领域。所述的防漏液微流控芯片夹具包括用于连接芯片的两个支座、夹紧螺栓和密封垫圈。支座用于实现芯片与外接管道的连接以及芯片本体的定位和保护，夹紧螺栓用于实现芯片的夹紧、密封垫圈用于实现连接部分的密封和防漏液。通过将入口管道接口和出口溶液收集管道集成到支座上，不仅可以解决外接管道与夹具孔、微流控芯片与夹具之间的配合问题，防止接口处漏液，还能够降低出口接口处外接管道流阻对于芯片内流体流动的影响，满足对流体流动对称性较高的微流控芯片的需求。该夹具可以有效改善夹具与芯片和外接管道的配合情况，提升微流控芯片流动稳定性。
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公开(公告)号：CN113786870B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111069043.1
申请日：2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种用于薄膜芯片键合的具有微结构凸起的柔性底座制作方法，属于微纳米制造领域。该底座用于薄膜芯片的键合，属于微纳米制造领域。首先，利用已成型的薄膜芯片作为凸模模具，通过浇注成型工艺，获得与薄膜芯片结构共形的柔性凹模；随后，利用光刻工艺在柔性凹模上制作出包围凹模结构形状的微结构凸起，从而得到具有微结构凸起的柔性底座。利用该柔性底座进行薄膜芯片的辅助键合，以加强薄膜芯片微结构周围的键合强度。本发明可根据薄膜芯片结构，制作出与之共形的凹模；并利用光刻技术可控制微结构凸起的形状和结构高度，从而实现对薄膜芯片键合的控制。
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公开(公告)号：CN113717827A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111069052.0
申请日：2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: C12M1/00 , C12M1/34 , C12Q1/6844
Abstract: 一种全集成核酸检测微流控芯片及使用方法，属于核酸扩增检测技术领域。微流控芯片包括盖片、基片及密封片，所述密封片与基片将所述盖片的两面贴合，所述盖片设有油池、进样孔、进气孔、通道和至少一个反应池；所述基片设有至少一个反应池和至少一个检测小池；所述通道分别与各反应池及进气孔连通；所述反应池内放置试剂，所述检测小池内放置冻干试剂；所述油池内放置磁珠。将病原体检测步骤，简化为磁珠在各反应池之间的移动与微量液体的转移；芯片采用磁铁控制和气泵控制，实现样品自动化检测的全过程。本发明结构简单、设计合理，能够全集成处理复杂样本，同时使用方便、不易受到污染。
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