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公开(公告)号:CN113650330B
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202111069055.4
申请日:2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种柔性聚合物表面金属纳米裂纹的自动化制造装置及使用方法,属于微纳米制造领域。包括底座,支撑结构,驱动模块,传动模块,加载模块,转轴模块,转轴固定模块,辅助转轴模块。由底座与支撑结构构成支架;驱动模块通过传动模块与加载模块连接;纳米裂纹制造区域位于转轴模块处,转轴模块通过转轴固定模块与支撑结构固定;辅助转轴模块避免加载过程中薄膜与驱动模块、加载模块接触。使用时,首先选择一定直径的圆柱转轴,将沉积有金属薄膜的聚合物薄膜放置在圆柱转轴上;加载装置加载使得该薄膜与圆柱转轴垂直相切;驱动单元使得该复合薄膜在圆柱转轴上发生弯曲,产生裂纹。本发明可以实现裂纹自动化制造过程中对工艺参数的精确调节,并且可以实现不同密度的裂纹的制造。
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公开(公告)号:CN113786870B
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202111069043.1
申请日:2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种用于薄膜芯片键合的具有微结构凸起的柔性底座制作方法,属于微纳米制造领域。该底座用于薄膜芯片的键合,属于微纳米制造领域。首先,利用已成型的薄膜芯片作为凸模模具,通过浇注成型工艺,获得与薄膜芯片结构共形的柔性凹模;随后,利用光刻工艺在柔性凹模上制作出包围凹模结构形状的微结构凸起,从而得到具有微结构凸起的柔性底座。利用该柔性底座进行薄膜芯片的辅助键合,以加强薄膜芯片微结构周围的键合强度。本发明可根据薄膜芯片结构,制作出与之共形的凹模;并利用光刻技术可控制微结构凸起的形状和结构高度,从而实现对薄膜芯片键合的控制。
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公开(公告)号:CN113649095A
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN202111069026.8
申请日:2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种用于核酸检测的高度集成式微流控芯片及使用方法,属于微流控技术领域以及生物检测领域。该微流控芯片由基片与盖片组成,基片与盖片通过胶粘接方式连接。本发明设有多个独立的反应池,可以实现对单一样品进行多靶标检测。本发明采用磁珠法实现核酸的提纯,通过离心驱动的方式实现对液体的操控。芯片上设置油相池进行必要位置生物试剂隔离。并且该微流控芯片上设有毛细阀,以控制液体的通断。本发明对检测所需的样品量和试剂使用量需求更少、检测过程耗时更短。并且可以实现从待测样品到检测结果的全自动操作。
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公开(公告)号:CN113649095B
公开(公告)日:2022-04-08
申请号:CN202111069026.8
申请日:2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种用于核酸检测的高度集成式微流控芯片及使用方法,属于微流控技术领域以及生物检测领域。该微流控芯片由基片与盖片组成,基片与盖片通过胶粘接方式连接。本发明设有多个独立的反应池,可以实现对单一样品进行多靶标检测。本发明采用磁珠法实现核酸的提纯,通过离心驱动的方式实现对液体的操控。芯片上设置油相池进行必要位置生物试剂隔离。并且该微流控芯片上设有毛细阀,以控制液体的通断。本发明对检测所需的样品量和试剂使用量需求更少、检测过程耗时更短。并且可以实现从待测样品到检测结果的全自动操作。
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公开(公告)号:CN113786870A
公开(公告)日:2021-12-14
申请号:CN202111069043.1
申请日:2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种用于薄膜芯片键合的具有微结构凸起的柔性底座制作方法,属于微纳米制造领域。该底座用于薄膜芯片的键合,属于微纳米制造领域。首先,利用已成型的薄膜芯片作为凸模模具,通过浇注成型工艺,获得与薄膜芯片结构共形的柔性凹模;随后,利用光刻工艺在柔性凹模上制作出包围凹模结构形状的微结构凸起,从而得到具有微结构凸起的柔性底座。利用该柔性底座进行薄膜芯片的辅助键合,以加强薄膜芯片微结构周围的键合强度。本发明可根据薄膜芯片结构,制作出与之共形的凹模;并利用光刻技术可控制微结构凸起的形状和结构高度,从而实现对薄膜芯片键合的控制。
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公开(公告)号:CN113650330A
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN202111069055.4
申请日:2021-09-13
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种柔性聚合物表面金属纳米裂纹的自动化制造装置及使用方法,属于微纳米制造领域。包括底座,支撑结构,驱动模块,传动模块,加载模块,转轴模块,转轴固定模块,辅助转轴模块。由底座与支撑结构构成支架;驱动模块通过传动模块与加载模块连接;纳米裂纹制造区域位于转轴模块处,转轴模块通过转轴固定模块与支撑结构固定;辅助转轴模块避免加载过程中薄膜与驱动模块、加载模块接触。使用时,首先选择一定直径的圆柱转轴,将沉积有金属薄膜的聚合物薄膜放置在圆柱转轴上;加载装置加载使得该薄膜与圆柱转轴垂直相切;驱动单元使得该复合薄膜在圆柱转轴上发生弯曲,产生裂纹。本发明可以实现裂纹自动化制造过程中对工艺参数的精确调节,并且可以实现不同密度的裂纹的制造。
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