一种锆钛酸铅薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN108727020A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201710277126.7

    申请日:2017-04-24

    Abstract: 本发明提供一种锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的方法包括:1)将钛酸四丁酯溶于乙酰丙酮中,再加入硝酸锆、乙酸铅、乙二醇甲醚和甲酰胺,控制乙酸铅与硝酸锆的摩尔比为(1.1-1.3):y,制备化学式为Pb(ZryTi1-y)O3的锆钛酸铅缓冲层前驱体溶液;2)将锆钛酸铅缓冲层前驱体溶液沉积在衬底上,热处理,得到锆钛酸铅缓冲层;3)将钛酸四丁酯溶于乙酰丙酮中,再加入硝酸锆、乙酸铅、乙二醇甲醚和甲酰胺,控制乙酸铅与硝酸锆的摩尔比为(1.15-1.25):y,制备化学式为Pb(ZryTi1-y)O3的锆钛酸铅前驱体溶液;4)将锆钛酸铅前驱体溶液沉积在锆钛酸铅缓冲层上,热处理,得到锆钛酸铅薄膜。本发明的方法能够制得介电常数高且介电损耗小的锆钛酸铅薄膜。

    一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN108069715A

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201611000288.8

    申请日:2016-11-14

    CPC classification number: C04B35/493 C04B35/624 C04B2235/3224 C04B2235/76

    Abstract: 本发明提供一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜的制备方法,包括如下顺序进行的步骤:1)以乙酸铅、硝酸钆、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料,乙二醇甲醚为溶剂,乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂,制备化学式为Pb1-xGdx(ZryTi1-y)O3的掺钆锆钛酸铅前驱体溶液,其中x为0.01-0.05,y为0.52-0.53,乙酰丙酮与甲酰胺的摩尔比为(0.80-1.50):(2.00-2.55);2)将所述掺钆锆钛酸铅前驱体溶液沉积在衬底上,热处理,得到具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜,其中热处理包括:先在150-180℃下快速干燥,然后在350-450℃下热分解,再在600-700℃退火处理。本发明的制备方法能够制得(100)晶向取向度高且介电性能优异的掺钆锆钛酸铅薄膜。

    液体喷头
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103660572B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201210330877.8

    申请日:2012-09-07

    Abstract: 本发明公开一种液体喷头,该喷头包括一喷嘴本体,该喷嘴本体内部具有多个相互连通且彼此独立的压力产生通道,喷嘴本体具有一进液口和多个喷液口,每个喷液口连通一个压力产生通道;每个压力产生通道壁上均连接一致动器,每个压力产生通道内底壁上均固定有一与致动器配合并能加大和减小压力产生通道横截面积的阻挡块,所述阻挡块位于进液口和喷液口之间且与致动器相对设置。由于阻挡块位于液体喷流通道内,在填充墨水时,致动器变形使液体喷流通道开口增大,实现快速供墨,当喷出墨水时,致动器变形使液体喷流通道的开口减小,减少损失的墨水,从而实现高频喷墨。

    液体喷射装置及其一体成型制造方法

    公开(公告)号:CN103770468B

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201310733314.8

    申请日:2013-12-26

    Abstract: 本发明提供一种液体喷射装置及其一体成型制造方法,其中,方法包括在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件;在第一基底的第一表面上形成与多个压力发生部件对应的压力腔室以及与多个压力腔室连通的公共腔室;通过键合工艺在压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在喷孔板上形成有与压力腔室连通的喷孔。本发明提供的液体喷射装置及其一体成型制造方法,是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室,当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时,由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室,因而不会减小第一基底的机械强度,在制造过程中可以避免第一基底破损,从而提高液体喷射装置的成品率,降低制造成本。

    液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置

    公开(公告)号:CN104015485B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201410169532.8

    申请日:2014-04-24

    Abstract: 本发明提供一种液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置,其中方法包括在基板上表面依次层叠振动板、下电极和压电陶瓷薄膜层,以形成衬底;通过光刻工艺在所述压电陶瓷薄膜层上表面形成多个间隔的光刻胶层,该光刻胶层的纵向截面的上部宽且下部窄;在所述压电陶瓷薄膜层上表面以及所述光刻胶层上表面形成电极层,位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层与位于所述光刻胶层上表面的部分电极层相互断开;通过漂洗液去除所述光刻胶层和其上表面的部分电极层,保留位于所述压电陶瓷薄膜层上表面的部分电极层,以形成上电极。本发明可以对上电极的尺寸进行精确控制,提高液体喷头的制造成品率。

    具有微型锥孔的SU-8光刻胶薄膜及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN108073034B

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201610999881.1

    申请日:2016-11-14

    Abstract: 本发明提供一种具有微型锥孔的SU‑8光刻胶薄膜及制备方法和应用。本发明的具有微型锥孔的SU‑8光刻胶薄膜的制备方法,包括如下顺序进行的步骤:在具有PDMS层的基底上涂覆SU‑8光刻胶,前烘;采用掩膜进行间隙曝光,后烘,使SU‑8光刻胶层呈弱交联状态;显影,从PDMS层上剥离SU‑8光刻胶层,得到具有微型锥孔的SU‑8光刻胶薄膜。本发明的SU‑8光刻胶薄膜具备键合能力,从而无需借助粘结剂即可直接与腔室壁键合连接,利用该SU‑8光刻胶薄膜制造打印头时工艺简单,喷孔不易脱落及堵塞。

    液体喷射方法、液体喷射装置及喷墨设备

    公开(公告)号:CN109774309A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201711126818.8

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 本发明提供一种液体喷射方法、液体喷射装置及喷墨设备。本发明的液体喷射方法,应用于喷墨设备上,所述方法包括:每个喷墨周期中,在所述压力腔室的体积产生变化前,通过向所述变限流部件施加电压而改变所述限流通道的截面面积,其中,所述变限流部件用于在压电效应下使所述限流通道的至少部分内壁产生变形;通过向所述压力部件施加电压改变所述压力腔室的体积,以将液滴喷出或者从所述供液池中吸墨,其中,所述压力部件用于在压电效应下使所述压力腔室的至少部分腔壁产生变形;所述变限流部件所施加的电压与所述压力部件所施加的电压的比值范围大于1。本发明能够保证喷出的液滴具有足够的喷射速度和大小。

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