一种围岩离层位移监测仪

    公开(公告)号:CN202582514U

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN201220034150.0

    申请日:2012-02-03

    Abstract: 本实用新型涉及一种围岩离层位移监测仪,包括机械部件和电器部件。机械部件包括锚杆组件、第一传动机构、第二传动机构、第一壳体和基本设置在锚杆组件中的2个离层位移传递组件。锚杆组件固定在第一壳体上;第一、第二传动机构均基本设置在第一壳体中,2个离层位移传递组件的动力输出件与分别于第一、第二传动机构的动力输入件动力连接。电器部件包括第二壳体以及固定在第二壳体中的电路板、第一角度传感器和第二角度传感器等。第一壳体的左侧板边沿设有3至6个销钩组件,第二壳体的右侧板相应位置设有销孔。第一壳体通过销钩组件插入并钩住第二壳体的销孔而连接在一起。且第一、第二传动机构的动力输出件分别与第一、第二角度传感器连接。

    MEMS氧气传感器气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114674881B

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202111149521.X

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS氧气传感器气敏薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1:将二氧化钛靶材和金靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将微加热板放入磁控溅射仪内;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为二氧化钛靶材,开启磁控溅射仪的总电源,启动机械泵并打开截止阀,开始抽真空,设置微加热板的温度为T。S3:打开调压开关,打开进气阀,打开流量计,通入氮气并调节真空室内的气压至0.8Pa‑1.2Pa,打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀二氧化钛薄膜。S4:镀二氧化钛薄膜结束后,打开射频溅射电源开始在二氧化钛薄膜表面镀金薄膜;镀金薄膜结束后,得到金修饰的二氧化钛气敏薄膜。利用本发明,能够提高MEMS氧气传感器的响应灵敏度、稳定性,解决批量化制备MEMS氧气传感器技术难题。

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