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公开(公告)号：CN207480365U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721092683.3
申请日：2017-08-29
Applicant: 富士纺控股株式会社
Abstract: 本实用新型涉及研磨装置。解决的问题为提供适用于立体的被研磨物的研磨加工的研磨装置。本实用新型的研磨装置(1)具有：保持被研磨物(W)的俯视圆形的板状部件(10)，使板状部件旋转的旋转机构(20)，和隔着被研磨物而与板状部件相对配置的研磨垫(30)，旋转机构具有在板状部件的外周形成的第一齿部(11)，具有与第一齿部啮合的第二齿部(21a，22a)且在板状部件的侧方配置的齿轮(21，22)，和产生用于使齿轮旋转的旋转驱动力的驱动部，经由齿轮的第二齿部及第一齿部而将驱动部的旋转驱动力传递至板状部件，由此使板状部件旋转。在板状部件的一个面(10a)与被研磨物之间设置有具有规定厚度的保持垫(40)。
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