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公开(公告)号:CN107000173B
公开(公告)日:2018-09-25
申请号:CN201580006144.0
申请日:2015-07-27
Applicant: 富士纺控股株式会社
Abstract: 一种研磨刷,该研磨刷(4),其多个离开间隔的突起部(4b)和固定突起部(4b)的支承部(4a)由具有挠性的相同的材料一体地形成,进而突起部(4b)的侧面具有多个开孔,开孔率是10~70%。另外,突起部的高度(h)和该突起部的基部的在截面形状中的外接圆的半径(r)之比(h/r)是1.0~5.0的范围。由此,在研磨被研磨物(1)时,突起部的侧面能与被研磨物(1)压接,由保持在形成于突起部的侧面上的开孔中的料浆进行研磨。没有突起部(4b)的脱落,另外,能在突起部(4b)的侧面中良好地保持料浆地进行研磨。
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公开(公告)号:CN107000173A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580006144.0
申请日:2015-07-27
Applicant: 富士纺控股株式会社
Abstract: 一种研磨刷,该研磨刷(4),其多个离开间隔的突起部(4b)和固定突起部(4b)的支承部(4a)由具有挠性的相同的材料一体地形成,进而突起部(4b)的侧面具有多个开孔,开孔率是10~70%。另外,突起部的高度(h)和该突起部的基部的在截面形状中的外接圆的半径(r)之比(h/r)是1.0~5.0的范围。由此,在研磨被研磨物(1)时,突起部的侧面能与被研磨物(1)压接,由保持在形成于突起部的侧面上的开孔中的料浆进行研磨。没有突起部(4b)的脱落,另外,能在突起部(4b)的侧面中良好地保持料浆地进行研磨。
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公开(公告)号:CN108349062A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201680063033.8
申请日:2016-10-25
Applicant: 富士纺控股株式会社
IPC: B24B37/24 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/24 , H01L21/304
Abstract: 研磨材料,其具有以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物中的树脂。
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公开(公告)号:CN108068009B
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN201710667432.1
申请日:2017-08-07
Applicant: 富士纺控股株式会社
Abstract: 本发明涉及研磨垫及其制造方法、以及研磨物的制造方法。本发明的目的在于提供研磨垫及其制造方法、以及使用了研磨垫的研磨物的制造方法,所述研磨垫能够确保对具有曲面的被研磨物进行研磨时的研磨面品质。本发明的课题是一种研磨垫,所述研磨垫具有基材和含浸于该基材中的树脂,所述基材具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部,所述研磨垫至少满足下述条件:所述绒头来自于具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维的针织物中的所述中间纤维,所述针织物是以经编或纬编构成的针织物;所述连接部来自于所述表面背面纤维中的任一方。
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公开(公告)号:CN106232296B
公开(公告)日:2018-10-19
申请号:CN201580020884.X
申请日:2015-04-07
Applicant: 富士纺控股株式会社
IPC: B24B37/24
Abstract: 研磨垫(13)用于对具有凸状曲面部分(1a)的被研磨物(1)的所述凸状曲面部分进行研磨,其特征在于,在圆盘状且具有厚度的弹性体的侧表面配置有环状凹研磨部(13a),一边以该圆盘的圆的中心为轴沿圆周方向驱动所述环状凹研磨部旋转,一边使所述环状凹研磨部与被研磨物的凸状曲面部分相接触,并且构成环状凹研磨部的弹性体的压缩0.1mm时的压缩应力为50gf/cm2~150gf/cm2的范围,且压缩应力的比(压缩0.5mm时的压缩应力/压缩0.1mm时的压缩应力)为5~30的范围。能够高精度地对被研磨物的所述凸状曲面部分进行抛光研磨。
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公开(公告)号:CN108068009A
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201710667432.1
申请日:2017-08-07
Applicant: 富士纺控股株式会社
Abstract: 本发明涉及研磨垫及其制造方法、以及研磨物的制造方法。本发明的目的在于提供研磨垫及其制造方法、以及使用了研磨垫的研磨物的制造方法,所述研磨垫能够确保对具有曲面的被研磨物进行研磨时的研磨面品质。本发明的课题是一种研磨垫,所述研磨垫具有基材和含浸于该基材中的树脂,所述基材具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部,所述研磨垫至少满足下述条件:所述绒头来自于具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维的针织物中的所述中间纤维,所述针织物是以经编或纬编构成的针织物;所述连接部来自于所述表面背面纤维中的任一方。
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公开(公告)号:CN106232296A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201580020884.X
申请日:2015-04-07
Applicant: 富士纺控股株式会社
IPC: B24B37/24
CPC classification number: B24B37/24
Abstract: 研磨垫(13)用于对具有凸状曲面部分(1a)的被研磨物(1)的所述凸状曲面部分进行研磨,其特征在于,在圆盘状且具有厚度的弹性体的侧表面配置有环状凹研磨部(13a),一边以该圆盘的圆的中心为轴沿圆周方向驱动所述环状凹研磨部旋转,一边使所述环状凹研磨部与被研磨物的凸状曲面部分相接触,并且构成环状凹研磨部的弹性体的压缩0.1mm时的压缩应力为50gf/cm2~150gf/cm2的范围,且压缩应力的比(压缩0.5mm时的压缩应力/压缩0.1mm时的压缩应力)为5~30的范围。能够高精度地对被研磨物的所述凸状曲面部分进行抛光研磨。
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