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公开(公告)号：CN114981473A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202180010030.9
申请日：2021-05-28
Applicant: 岩谷产业株式会社
Abstract: 提供铂族金属回收方法、含铂族金属膜的制造方法及成膜装置。铂族金属的回收方法是一种在成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜之后，回收存在于成膜腔室内的铂族金属的方法，该回收方法具备：(i)向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入含氟的清洁气体的步骤；以及(ii)向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂。
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公开(公告)号：CN114981473B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202180010030.9
申请日：2021-05-28
Applicant: 岩谷产业株式会社
Abstract: 提供铂族金属回收方法、含铂族金属膜的制造方法及成膜装置。铂族金属的回收方法是一种在成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜之后，回收存在于成膜腔室内的铂族金属的方法，该回收方法具备：(i)向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入含氟的清洁气体的步骤；以及(ii)向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110998798A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880048776.7
申请日：2018-07-18
IPC: H01L21/301 , B23K26/53 , H01L21/3065
Abstract: 切割加工方法包括以下工序：在加工对象物(1)上形成改性区域；以及在加工对象物(1)上形成了改性区域之后在加工对象物(1)沿着切割预定线形成槽(9)。在形成槽(9)的工序中，从加工对象物(1)的表面(3)朝向背面(4)实施第1干蚀刻处理。在第1干蚀刻处理之后，实施将加工对象物(1)置于与第1干蚀刻处理时相比减压的气氛下的第1减压处理。在第1减压处理之后，从加工对象物(1)的表面(3)朝向背面(4)实施第2干蚀刻处理。
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公开(公告)号：CN110998797A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880048615.8
申请日：2018-07-18
IPC: H01L21/301 , B23K26/53 , H01L21/3065
Abstract: 切割加工方法包括以下工序：在加工对象物(1)形成改性区域；以及在加工对象物(1)形成了改性区域之后，沿着切割预定线对加工对象物(1)进行切割。在对加工对象物(1)进行切割的工序中，通过在加工对象物(1)借助自重和吸附中的至少任一者固定于支承件的状态下，从加工对象物(1)的表面(3)朝向背面(4)实施干蚀刻处理，从而从加工对象物(1)的表面(3)直到背面(4)地形成槽。
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公开(公告)号：CN104040699B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201280066775.8
申请日：2012-02-08
Applicant: 岩谷产业株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4404 , C23C16/4405 , C23C16/45561 , H01L21/67069
Abstract: 本发明提供一种能够确实地抑制在处理作业时反应室中的ClF3浓度的降低的三氟化氯供给路的内面处理方法。使作为蚀刻气体使用三氟化氯的处理装置的处理腔室(1)与气体供给路(2)和气体排出路(3)连结成一体，使与蚀刻处理操作时供给的三氟化氯气体浓度相同的浓度或者比该浓度高的浓度的三氟化氯气体作用于该形成一体的处理腔室(1)、气体供给路(2)和气体排出路(3)中的至少处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面，至少对处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面通过氟化膜形成覆膜。
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公开(公告)号：CN104040699A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201280066775.8
申请日：2012-02-08
Applicant: 岩谷产业株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4404 , C23C16/4405 , C23C16/45561 , H01L21/67069
Abstract: 本发明提供一种能够确实地抑制在处理作业时反应室中的ClF3浓度的降低的三氟化氯供给路的内面处理方法。使作为蚀刻气体使用三氟化氯的处理装置的处理腔室(1)与气体供给路(2)和气体排出路(3)连结成一体，使与蚀刻处理操作时供给的三氟化氯气体浓度相同的浓度或者比该浓度高的浓度的三氟化氯气体作用于该形成一体的处理腔室(1)、气体供给路(2)和气体排出路(3)中的至少处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面，至少对处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面通过氟化膜形成覆膜。
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