公开(公告)号：CN117727627A

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202311722848.0

申请日：2016-04-28

Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司

Inventor： N·江 ,  M·布莱希科 ,  N·S·德拉斯 ,  B·E·古德林

IPC: H01L21/3213 ,  H03H9/17 ,  H03H9/02 ,  H03H3/02

Abstract: 本申请涉及用于制造钛钨层中的特定终端角的方法。在描述的示例中，一种形成钛钨层中的终端角的方法包括提供钛钨层(702)以及将光致抗蚀刻材料施加到钛钨层(704)。光致抗蚀刻材料在散焦条件下经暴露生成抗蚀刻掩膜(706)。暴露的光致抗蚀刻材料的边缘对应于倾斜终端。使用蚀刻材料蚀刻钛钨层。蚀刻材料至少部分地蚀刻在散焦条件下被暴露的光致抗蚀刻材料。蚀刻导致钛钨层中的倾斜终端(708)。

公开(公告)号：CN107683521A

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201680034688.2

申请日：2016-04-28

Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司

Inventor： N·江 ,  M·布莱希科 ,  N·S·德拉斯 ,  B·E·古德林

IPC: H01L21/308

CPC classification number: H03H9/02015 ,  H01L21/32056 ,  H01L21/32136 ,  H01L21/32139 ,  H01L29/0657 ,  H01L29/41725 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/175 ,  H03H9/178 ,  H03H2003/025

Abstract: 在描述的示例中，一种形成钛钨层中的终端角的方法包括提供钛钨层(702)以及将光致抗蚀刻材料施加到钛钨层(704)。光致抗蚀刻材料在散焦条件下经暴露生成抗蚀刻掩膜(706)。暴露的光致抗蚀刻材料的边缘对应于倾斜终端。使用蚀刻材料蚀刻钛钨层。蚀刻材料至少部分地蚀刻在散焦条件下被暴露的光致抗蚀刻材料。蚀刻导致钛钨层中的倾斜终端(708)。

公开(公告)号：CN107431430A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201480082680.4

申请日：2014-10-24

Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司

Inventor： 徐小珺 ,  N·江 ,  X·东

IPC: H02M1/36

CPC classification number: H02M3/1588 ,  H02M1/36 ,  H02M3/158 ,  H02M2001/0009

Abstract: 一种DC-DC转换器，包括：第一开关，该第一开关连接到输入电压和共同节点，并且如果接通，则第一开关提供通过第一开关且通过共同节点到DC-DC转换器的输出电压节点的信号路径；以及第二开关，该第二开关连接到接地和共同节点，并且如果接通，则第二开关提供通过第二开关且通过共同节点到DC-DC转换器的输出电压节点的信号路径。DC-DC转换器另外包括耦接到第一开关和第二开关的控制逻辑、第一节点、第一软启动控制器。更具体地说，控制逻辑经配置用于提供第一控制信号和第二控制信号，以分别控制第一开关和第二开关。第一节点可用于产生在初始化期间从零斜升的第一电压，并且软启动控制器经配置用于在第一电压不大于预定义的电平时控制第二控制信号。而且，当第一电压不大于预定义的电平时，第一软启动控制器将第二控制信号保持在较高电平以维持第二开关接通，并且仅在第一控制信号从较低电平转变到较高电平时，将第二控制信号转变到较低电平。

公开(公告)号：CN107949904A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201680029951.9

申请日：2016-04-11

Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司

Inventor： N·江 ,  E·C·斯图尔特 ,  N·S·德拉斯

IPC: H01L21/3213

CPC classification number: H03H3/02 ,  H03H2003/025

Abstract: 一种制备钼层的倾斜终端的方法(800)，包括提供钼层(802)，并对钼层(804)施加光刻胶材料。光刻胶材料在散焦的条件下曝光生成掩膜(806)，曝光的光刻胶材料的边缘对应于倾斜终端。用蚀刻材料蚀刻钼层，其中蚀刻材料至少部分蚀刻在散焦条件下被曝光的光刻胶材料，且其中，蚀刻产生倾斜终端(808)。