公开(公告)号：CN107533014A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680025254.6

申请日：2016-12-19

Applicant: 新日铁住金株式会社

Inventor： 今野雄介 ,  小林尊道 ,  赤木俊夫 ,  日比厚裕 ,  古家顺弘 ,  中崎昭仁

IPC: G01N21/892

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N15/06 ,  G01N21/00 ,  G01N21/359 ,  G01N21/88 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/892 ,  G01N21/94 ,  G01N21/952 ,  G01N2201/0697

Abstract: 高灵敏度地发现在具有可见光的波长程度的表面粗糙度的被检查体的表面所产生的为表面粗糙度的数倍左右的凹凸缺陷等，来准确地进行存在于被检查体的表面的脏污与凹凸瑕疵的区分，并且实现装置的小型化。本发明所涉及的被检查体摄像装置具备：光源，其产生属于红外波长带并在被检查体的表面上具有规定的发散半角的光束；投影光学系统，其将光束以规定的投影角投射到被检查体的表面上；以及摄像部，其拍摄来自被检查体的表面的反射光，其中，摄像部具有：摄像光学系统，其具有至少一个凸透镜，用于会聚反射光，并使该反射光向两个不同的方向分支；以及第一摄像元件和第二摄像元件，其拍摄透过了摄像光学系统的各反射光，第一摄像元件沿着反射光的光轴地位于比摄像光学系统的与被检查体的表面共轭的位置靠被检查体侧的位置，第二摄像元件沿着反射光的光轴地位于比该共轭的位置靠反射光的行进方向侧的位置。

公开(公告)号：CN107850422A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201780002621.5

申请日：2017-05-19

Applicant: 新日铁住金株式会社

Inventor： 今野雄介 ,  小林尊道 ,  赤木俊夫 ,  日比厚裕 ,  古家顺弘 ,  中崎昭仁

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/892

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01B11/26 ,  G01B11/303 ,  G01B11/306 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/892 ,  G01N2021/8908 ,  G01N2021/8918 ,  G01N2201/062

Abstract: 抑制斑点噪声的产生并更高速且更高精度地测定由金属体构成的带状体的表面形状。本发明所涉及的形状测定装置具备：线状光源，其由超发光二极管构成，对所述带状体的表面照射在所述带状体的宽度方向上扩散的线状光；屏幕，其被投射所述带状体的表面上的所述线状光的反射光；面阵摄像机，其对投射在所述屏幕上的所述线状光的反射光进行拍摄；以及运算处理装置，其使用由所述面阵摄像机拍摄到的所述线状光的反射光的摄像图像来计算所述带状体的表面形状，其中，所述线状光源的光谱半宽为20nm以上，并且所述线状光源被配置为所述线状光源的光轴同所述带状体的表面法线方向所形成的角θ与所述线状光的波长λ满足同所述带状体的镜面性有关的式(I)。