公开(公告)号：CN118140177A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202280007294.3

申请日：2022-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  近藤厚男 ,  茶园弘基 ,  谷村昴 ,  強力尚纪

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供EUV透过率及IR放射率均较高的EUV透过膜。该EUV透过膜为波长13.5nm处的EUV透过率为80.0％以上的EUV透过膜，其具备：波长2μm处的IR放射率为2.0％以上的主层、以及将主层的至少单面覆盖的波长2μm处的IR透过率为70％以上的保护层。

公开(公告)号：CN100541269C

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200580032777.5

申请日：2005-09-28

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 三富修 ,  近藤顺悟 ,  近藤厚男 ,  青木谦治 ,  江尻哲也 ,  岩田雄一

IPC: G02F1/035

CPC classification number: G02F1/035 ,  G02F1/0508

Abstract: 本发明涉及光功能器件。光功能器件具备：电介质基板(5)；配置在电介质基板(5)上且由具有光电效果的材质构成的铁电体薄层(10)；以及配置在该铁电体薄层(10)上的电极(3A、3B)。使铁电体薄层(10)的一部分作为光波导的芯(9)起作用，使电介质基板(5)作为光波导的金属包层起作用，光波导(9)在铁电体薄层(10)的至少深度方向D作为多模波导而构成。

公开(公告)号：CN101221296A

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN200810001595.7

申请日：2004-08-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 近藤顺悟 ,  近藤厚男 ,  青木谦治 ,  三富修

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/225

Abstract: 本发明涉及光波导器件以及利用了它的行波型光学调制器。器件(4)具有电光学单晶基板(5)、光波导(2)以及调制电极(1A、1B、1C)，电光学单晶基板(5)在由至少调制电极施加电场的区域(10)的厚度在30μm或其以下。通过使在形成光波导时产生的凸部的高度H(埃)和凸部的宽度W(μm)之积(H·W)在7150埃·μm或其以下，在光波导中传播的光能够形成单模。并且，在上述电场施加区域，上述光波导具有分支部，通过使上述分支部的上述光波导的间隔在46μm或其以上，能够使消光比曲线的峰和谷的起伏小至±5％以内。

公开(公告)号：CN112512993A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980039861.1

申请日：2019-04-17

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 宫入由纪夫 ,  下田岳秀 ,  青木崇志 ,  坂本浩文 ,  桝田昌明 ,  近藤厚男 ,  泉有仁枝 ,  加藤恭平 ,  胁田伦弘

IPC: C04B38/00 ,  B01D39/20 ,  B01D46/00 ,  B01D46/42 ,  C04B41/85 ,  F01N3/022 ,  F01N3/023 ,  F01N3/027 ,  F01N3/08 ,  F01N3/28

Abstract: 本发明提供蜂窝结构体及废气净化装置，能够利用电加热将碳微粒等燃烧除去，并且，即便在产生冷凝水的位置也能够使用，不存在由冷凝水或碳堆积所引起的短路问题，压力损失也较低。蜂窝结构体是具有多孔质的隔壁和位于最外周的外周壁的柱状的蜂窝结构体，该多孔质的隔壁区划形成多个隔室，该多个隔室形成流体的流路，并从流体的流入侧的端面即流入端面延伸至流体的流出侧的端面即流出端面，其中，在隔壁的表面的至少一部分具有表面层，表面层包含磁性体粒子且具有通气性。

公开(公告)号：CN1954249A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200580015660.6

申请日：2005-04-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 青木谦治 ,  近藤顺悟 ,  近藤厚男 ,  三富修

IPC: G02F1/035

CPC classification number: G02F1/2255 ,  G02F1/0356 ,  G02F2203/25

Abstract: 本发明的光波导器件，通过第一接地电极(10)及信号电极(11)对第一分支部(3a)施加电压，通过第二接地电极(12A)及信号电极对第二分支部(3b)施加电压。在第一接地电极及信号电极之间形成第一间隙(13)，在第二接地电极及信号电极之间形成第二间隙(14)。第一间隙及第二间隙分为电压施加部(13a、14a)、馈通部及连接部(13b、14b)，且满足(G12/G11≤G22/G21＜G32/G31)。其中，(G11)是连接部(13b)中的第一间隙的宽度，(G12)是连接部(14b)中的第二间隙的宽度，(G21)是连接部分一侧末端(13c)中的第一间隙的宽度，(G22)是连接部分一侧末端(14c)中的第二间隙的宽度，(G31)是电压施加部(13a)中的第一间隙的宽度，(G32)是电压施加部(14a)中的第二间隙的宽度。

公开(公告)号：CN118076920A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202180055382.6

申请日：2021-10-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  近藤厚男 ,  茶园弘基 ,  谷村昴

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供兼备实用水平高的EUV透过率和低压氢气氛环境下的耐久性的EUV透过膜。该EUV透过膜具备：由金属铍构成的主层、以及将主层的至少单面覆盖的由氮化铍构成的保护层。

公开(公告)号：CN101031842A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200580032777.5

申请日：2005-09-28

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 三富修 ,  近藤顺悟 ,  近藤厚男 ,  青木谦治 ,  江尻哲也 ,  岩田雄一

IPC: G02F1/035

CPC classification number: G02F1/035 ,  G02F1/0508

Abstract: 本发明涉及光功能器件。光功能器件具备：电介质基板(5)；配置在电介质基板(5)上且由具有光电效果的材质构成的铁电体薄层(10)；以及配置在该铁电体薄层(10)上的电极(3A、3B)。使铁电体薄层(10)的一部分作为光波导的芯(9)起作用，使电介质基板(5)作为光波导的金属包层起作用，光波导(9)在铁电体薄层(10)的至少深度方向D作为多模波导而构成。

公开(公告)号：CN1839336A

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：CN200480023897.4

申请日：2004-08-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 近藤顺悟 ,  近藤厚男 ,  青木谦治 ,  三富修

IPC: G02F1/035

Abstract: 本发明涉及光波导器件以及利用了它的行波型光学调制器。器件(4)具有电光学单晶基板(5)、光波导(2)以及调制电极(1A、1B、1C)，电光学单晶基板(5)在由至少调制电极施加电场的区域(10)的厚度在30μm或其以下。通过使在形成光波导时产生的凸部的高度H(埃)和凸部的宽度W(μm)之积(H·W)在7150埃·μm或其以下，在光波导中传播的光能够形成单模。并且，在上述电场施加区域，上述光波导具有分支部，通过使上述分支部的上述光波导的间隔在46μm或其以上，能够使消光比曲线的峰和谷的起伏小至±5％以内。

公开(公告)号：CN119790350A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202280005706.X

申请日：2022-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  强力尚纪 ,  丹下正次 ,  近藤厚男

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供即便膜万一破损的情况下也不易产生颗粒的EUV透过膜。该EUV透过膜具备：主层，其由金属铍构成，且具有第一面及第二面；以及1对表面层，它们设置于主层的第一面及第二面，且包含选自氟化铍、氟氮化铍、氟氧化铍及氟氮氧化铍中的至少1种氟化物。

公开(公告)号：CN107532896A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680011836.9

申请日：2016-02-24

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 栗林健一 ,  小西俊之 ,  须江政喜 ,  近藤厚男 ,  渡边敬一郎 ,  岩崎真君 ,  山中亮一 ,  渡边义信

IPC: G01B21/32 ,  G01L1/06 ,  G01M99/00

Abstract: 本发明涉及一种应变检测用结构体。应变检测用结构体具有：用于安装在检测应变的检查对象物的陶瓷制的主体(12)；以及形成于该主体(12)并且在规定的应变以上发生损坏的应力集中部(14)。将主体(12)整体的一个方向的尺寸设为Lm，并将应力集中部(14)的一个方向的尺寸设为Lc时，Lc