公开(公告)号：CN103097954B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201180044326.9

申请日：2011-09-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 谷本明敏 ,  野部茂 ,  粕谷圭 ,  松谷宽 ,  上野巧 ,  青木优 ,  田原真吾

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/11

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。

公开(公告)号：CN110582726A

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201780090330.6

申请日：2017-05-10

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 青木优 ,  桥本政弘

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/023

Abstract: 本发明公开一种正型感光性树脂组合物，其含有：(A)碱可溶性树脂；(B)下述通式(1)所示的化合物或下述通式(2)所示的化合物；以及(C)具有2个以上环氧基的化合物。通式(1)中，R1～R6各自独立地表示碳数为1～10的烷基；通式(2)中，R7～R12各自独立地表示碳数为1～10的烷基。

公开(公告)号：CN103097954A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201180044326.9

申请日：2011-09-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 谷本明敏 ,  野部茂 ,  粕谷圭 ,  松谷宽 ,  上野巧 ,  青木优 ,  田原真吾

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/11

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。