公开(公告)号：CN109196021A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201780032773.X

申请日：2017-05-26

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  有马菜菜子 ,  石川洋平 ,  工藤惠子 ,  前山胜也

IPC: C08G67/00 ,  C08G61/02 ,  C08L73/00 ,  C09D173/00 ,  G02B5/30 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明涉及一种聚合物，其含有下述通式(I-1)所示的结构单元和下述通式(I-2)所示的结构单元。通式(I-1)及(I-2)中，X及X'各自独立地表示含有芳香环的碳数为6～50的二价基团，Y表示含有脂环和将相邻于Y的羰基所含的碳原子与所述脂环连接的碳数为1～10的亚烷基的碳数为5～50的二价基团，Y’表示含有与相邻于Y’的羰基所含的碳原子直接键合的脂环的碳数为3～50的二价基团，m及n分别表示3～1000的整数。

公开(公告)号：CN108713043A

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201780016107.7

申请日：2017-03-01

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  水口菜菜子 ,  浅香里志 ,  稻叶操 ,  石川洋平 ,  工藤惠子 ,  前山胜也

IPC: C08L61/02 ,  C08G16/00 ,  C08K5/092 ,  C08K5/1515 ,  C08K5/3445 ,  C08L63/00 ,  G02B1/04

CPC classification number: C08G16/00 ,  C08K5/092 ,  C08K5/1515 ,  C08K5/3445 ,  C08L61/02 ,  C08L63/00 ,  G02B1/04

Abstract: 一种聚酮组合物，其含有：(A)在主链中包含由下述通式(I)表示的结构单元的聚酮；和(B)环氧化合物。通式(I)中，X表示可以具有取代基的碳数为1～50的二价基团，Y表示可以具有取代基的碳数为1～30的二价烃基，n表示1～1500的整数。

公开(公告)号：CN110785466A

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：CN201880042210.3

申请日：2018-06-20

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 石川洋平 ,  松谷宽 ,  前山胜也

IPC: C08L73/00 ,  C08K5/25 ,  G02B5/30

Abstract: 聚酮组合物含有包含通式(I)所表示的结构单元的聚酮和酰肼化合物。通式(I)中，X分别独立地表示可具有取代基的碳数为1～50的2价的基团，Y分别独立地表示可具有取代基的碳数为1～30的2价的烃基，n表示1～1500的整数。

公开(公告)号：CN110249003A

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201880009091.1

申请日：2018-01-15

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  古川直树 ,  石川洋平 ,  松永昌大

IPC: C08L73/00 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 ,  G02F1/1335 ,  C08G67/00 ,  C08J5/18 ,  C08K3/36

Abstract: 聚酮组合物含有包含下述通式(I)所示的结构单元的聚酮和无机粒子，相对于所述聚酮及所述无机粒子的合计量100质量份，所述无机粒子的含量为10质量份～70质量份，所述无机粒子的平均粒径为10nm～200nm。通式(I)中，X各自独立地表示可具有取代基的碳数为1～50的2价基团，Y各自独立地表示可具有取代基的碳数为1～30的2价烃基，n表示1～1500的整数。

公开(公告)号：CN102132212B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200980132590.0

申请日：2009-09-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  七海宪

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/13

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其含有(A)具有酚羟基的碱溶性树脂、(B)通过具有碳原子数为4～100的不饱和烃基的化合物进行了改性的酚醛树脂、(C)通过光生成酸的化合物、(D)通过加热使(A)成分和(B)成分交联的热交联剂、和(E)溶剂。

公开(公告)号：CN103091987B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201310016907.2

申请日：2009-12-16

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  山下幸彦 ,  七海宪 ,  谷本明敏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/312 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L23/293 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01009 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件。本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN103097954A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201180044326.9

申请日：2011-09-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 谷本明敏 ,  野部茂 ,  粕谷圭 ,  松谷宽 ,  上野巧 ,  青木优 ,  田原真吾

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/11

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。

公开(公告)号：CN107207723B

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201680008334.0

申请日：2016-01-27

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 水口菜菜子 ,  松谷宽 ,  浅香里志 ,  稻叶操 ,  前山胜也

IPC: C08G67/00 ,  G02F1/1335

Abstract: 一种芳香族聚酮，其在结构单元中具有1个以上的脂环骨架及通过能够旋转的2个单键而键合的1个以上的碳原子；或一种芳香族聚酮，其具有下述通式(1)、下述通式(2)或下述通式(4)所表示的结构单元，和下述通式(5)所表示的结构单元。

公开(公告)号：CN107207723A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680008334.0

申请日：2016-01-27

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 水口菜菜子 ,  松谷宽 ,  浅香里志 ,  稻叶操 ,  前山胜也

IPC: C08G67/00 ,  G02F1/1335

Abstract: 一种芳香族聚酮，其在结构单元中具有1个以上的脂环骨架及通过能够旋转的2个单键而键合的1个以上的碳原子；或一种芳香族聚酮，其具有下述通式(1)、下述通式(2)或下述通式(4)所表示的结构单元，和下述通式(5)所表示的结构单元。

公开(公告)号：CN103097954B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201180044326.9

申请日：2011-09-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 谷本明敏 ,  野部茂 ,  粕谷圭 ,  松谷宽 ,  上野巧 ,  青木优 ,  田原真吾

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/11

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。