公开(公告)号：CN103097954B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201180044326.9

申请日：2011-09-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 谷本明敏 ,  野部茂 ,  粕谷圭 ,  松谷宽 ,  上野巧 ,  青木优 ,  田原真吾

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/11

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。

公开(公告)号：CN102257431B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN200980151852.8

申请日：2009-12-16

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  山下幸彦 ,  七海宪 ,  谷本明敏

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/312 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L23/293 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01009 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN103091987B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201310016907.2

申请日：2009-12-16

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  山下幸彦 ,  七海宪 ,  谷本明敏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/312 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L23/293 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01009 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件。本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN103097954A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201180044326.9

申请日：2011-09-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 谷本明敏 ,  野部茂 ,  粕谷圭 ,  松谷宽 ,  上野巧 ,  青木优 ,  田原真吾

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/11

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。