超纯水制造系统
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108779006B

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201780019033.2

    申请日:2017-03-24

    Abstract: 本发明提供一种超纯水制造系统,其能够除去水中的粒径20nm以下、特别是10nm以下的微粒,能够高效率且高水量制造超纯水。超纯水制造系统具备预备处理装置、及处理该预备处理装置的处理水的全量过滤装置。该预备处理装置以其处理水中的微粒数成为800~1200个/mL(粒径20nm以上)的方式进行处理。全量过滤装置作为过滤膜具备精密过滤膜或超滤膜,精密过滤膜的膜表面的孔径在0.05~1μm的范围的细孔的开口率为50~90%,膜厚为0.1~1mm;超滤膜的膜表面的孔径在0.005~0.05μm的范围的细孔数为1E13~1E15个/m2,膜厚为0.1~1mm,透过流束为10m3/m2/天时的膜间差压为0.02~0.10MPa。

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