公开(公告)号：CN104871286A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380067226.7

申请日：2013-12-20

Applicant: 普莱克斯技术有限公司

Inventor： A.K.辛哈 ,  D.C.海德曼 ,  L.A.布朗 ,  S.M.坎珀 ,  R.施 ,  D.卢 ,  邱文斌 ,  高建纲

IPC: H01J37/32 ,  C23C14/34 ,  F17C13/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01L21/265 ,  C01B3/00 ,  C01B23/00 ,  C23C14/34 ,  F17C1/005 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0114 ,  F17C2201/035 ,  F17C2201/058 ,  F17C2203/0617 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/035 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2221/03 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2225/038 ,  F17C2260/044 ,  F17C2270/0518 ,  F17C2270/0745 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31701 ,  Y02E60/321 ,  Y02E60/324 ,  Y10T137/2012 ,  F17C13/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/32

Abstract: 提供用于输送含CO的掺杂物气体组合物的供应源。所述组合物包括控制量的稀释剂气体混合物例如氙气和氢气，其各自以控制的体积比率提供以确保最佳的碳离子注入性能。所述组合物可包装为由含CO的供应源和稀释剂混合物供应源组成的掺杂物气体套件。备选地，所述组合物可预先混合并从单一来源引入，所述单一来源可响应沿排流路径所达到的负压条件而启动以允许掺杂物混合物从所述装置的内部体积受控流入离子源设备中。

公开(公告)号：CN108675273A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810522047.2

申请日：2013-12-20

Applicant: 普莱克斯技术有限公司

Inventor： A.K.辛哈 ,  D.C.海德曼 ,  L.A.布朗 ,  S.M.坎珀 ,  R.施 ,  D.卢 ,  邱文斌 ,  高建纲

IPC: C01B23/00 ,  C01B3/00 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  C23C14/34 ,  F17C1/00

CPC classification number: H01L21/265 ,  C01B3/00 ,  C01B23/00 ,  C23C14/34 ,  F17C1/005 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0114 ,  F17C2201/035 ,  F17C2201/058 ,  F17C2203/0617 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/035 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2221/03 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2225/038 ,  F17C2260/044 ,  F17C2270/0518 ,  F17C2270/0745 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31701 ,  Y02E60/321 ,  Y02E60/324 ,  Y10T137/2012

Abstract: 本发明提供用于输送含CO的掺杂物气体组合物的供应源。所述组合物包括控制量的稀释剂气体混合物例如氙气和氢气，其各自以控制的体积比率提供以确保最佳的碳离子注入性能。所述组合物可包装为由含CO的供应源和稀释剂混合物供应源组成的掺杂物气体套件。备选地，所述组合物可预先混合并从单一来源引入，所述单一来源可响应沿排流路径所达到的负压条件而启动以允许掺杂物混合物从所述装置的内部体积受控流入离子源设备中。

公开(公告)号：CN104871286B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201380067226.7

申请日：2013-12-20

Applicant: 普莱克斯技术有限公司

Inventor： A.K.辛哈 ,  D.C.海德曼 ,  L.A.布朗 ,  S.M.坎珀 ,  R.施 ,  D.卢 ,  邱文斌 ,  高建纲

IPC: H01J37/32 ,  C23C14/34 ,  F17C13/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01L21/265 ,  C01B3/00 ,  C01B23/00 ,  C23C14/34 ,  F17C1/005 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0114 ,  F17C2201/035 ,  F17C2201/058 ,  F17C2203/0617 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/035 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2221/03 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2225/038 ,  F17C2260/044 ,  F17C2270/0518 ,  F17C2270/0745 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31701 ,  Y02E60/321 ,  Y02E60/324 ,  Y10T137/2012

Abstract: 提供用于输送含CO的掺杂物气体组合物的供应源。所述组合物包括控制量的稀释剂气体混合物例如氙气和氢气，其各自以控制的体积比率提供以确保最佳的碳离子注入性能。所述组合物可包装为由含CO的供应源和稀释剂混合物供应源组成的掺杂物气体套件。备选地，所述组合物可预先混合并从单一来源引入，所述单一来源可响应沿排流路径所达到的负压条件而启动以允许掺杂物混合物从所述装置的内部体积受控流入离子源设备中。