公开(公告)号：CN114935311A

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202210672039.2

申请日：2022-06-15

Applicant: 暨南大学

Inventor： 周常河 ,  刘炜程 ,  贾伟 ,  王津

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置，该装置首次引入三块相等密度的光栅，其中一块为反射式，两块为透射式光栅。入射波长为红光的激光垂直入射在反射式光栅结构上，两束衍射光分别经过两块透射式光栅后经过反射镜调整汇聚于偏振分光棱镜上，最终被两个接收器检测到。该装置可以实现在亚纳米分辨率下测量小位移和长位移的优点，大幅度提升抗干扰能力和光能利用率，其中光栅具有结构简单，加工方便，造价低，可以大批量生产。

公开(公告)号：CN114879292A

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202110159688.8

申请日：2021-02-05

Applicant: 暨南大学

Inventor： 周常河 ,  刘炜程 ,  金戈 ,  贾伟

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种适用于RGB三基色的高效率三层倾斜光栅，该光栅的基底是石英，第一、二、三层材料分别为MgF2、石英、MgF2，深度分别为h1、h2、h3。该光栅的周期d为750～770纳米，脊宽b为469～490纳米，倾斜角θ为15.5～16.7度，h1为435～470纳米，h2为585～630纳米，h3为395～430纳米，在正入射的情况下该光栅结构具有456～623纳米的波长带宽。该三层倾斜光栅的中心波长为蓝光460纳米、绿光526纳米、红光620纳米，由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，其取材方便，结构简单，容差大，造价小，能大批量生产，可应用于AR、VR等三维成像显示技术。

公开(公告)号：CN114442211A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202011221276.4

申请日：2020-11-03

Applicant: 暨南大学

Inventor： 刘炜程 ,  周常河 ,  金戈 ,  贾伟

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种基于RGB三基色宽光谱高效率偏振无关的斜双层光栅，该光栅的基底是石英，第一层材料为MgF2，深度为h1，第二层材料为石英，深度为h2。该光栅的周期d为706～727纳米，脊宽b为396～418纳米，倾斜角θ为18～19度，h1为452～504纳米，h2为691～743纳米，在正入射的情况下该光栅结构具有454～630纳米的波长带宽。本发明是一种适用于RGB三基色(中心波长为蓝光460纳米、绿光526纳米、红光620纳米)的高效率偏振无关斜双层光栅，由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，其取材方便，结构简单，容差大，造价小，能大批量生产，可应用于AR、VR等三维成像显示技术。

公开(公告)号：CN112034545B

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202011045243.9

申请日：2020-09-29

Applicant: 暨南大学

Inventor： 周斌 ,  贾伟 ,  孙鹏 ,  王津 ,  刘炜程 ,  周常河

IPC: G02B5/18 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种二维孔洞阵列光栅及光栅尺位移测量系统，该光栅由上至下由顶层Ta2O5介质材料构成二维圆形孔洞结构光栅层、SiO2介质缓冲层、Ag金属层和基底构成光栅结构；所述的顶层二维结构介质光栅层为对称排放的二维圆柱形孔洞或圆台孔洞型阵列结构。本发明的偏振无关多层金属介质二维孔洞阵列光栅可以使TE和TM两种偏振模式的入射光以利特罗角(Littrow)入射时，(‑1，0)级反射衍射效率在中心波长780纳米波长高于98％，且两个偏振态之间的效率差异小于0.3％，衍射效率平衡达到99.74％，实现对偏振无关入射光的高效率衍射，同时制作容宽大，方便制作。

公开(公告)号：CN114442209A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202011209254.6

申请日：2020-11-03

Applicant: 暨南大学

Inventor： 金戈 ,  周常河 ,  刘炜程 ,  贾伟

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种适用于RGB波段高效率偏振无关的倾斜光栅，其中三原色的中心波长分别为：红光：620nm，绿光：526nm，蓝光：460nm。光栅层与基底层都为熔融石英，光栅的周期为：723～745纳米，脊宽为：460～494纳米，倾斜角：15～16.4度，光栅总深度为：1400～1440纳米，当TE偏振光或者TM偏振光垂直入射时，其‑1级透射率在RGB波段均超过80％，同时0级和1级透射光的衍射效率比较低，使得出射光的能量主要集中在‑1级上。本发明中倾斜光栅由电子束直写装置与微电子深刻蚀加工而成，结构简单，容差较大，制作方便，能够大规模制造，可适用于显示器中成像显示技术，具有重要的使用前景。

公开(公告)号：CN112034545A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN202011045243.9

申请日：2020-09-29

Applicant: 暨南大学

Inventor： 周斌 ,  贾伟 ,  孙鹏 ,  王津 ,  刘炜程 ,  周常河

IPC: G02B5/18 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种二维孔洞阵列光栅及光栅尺位移测量系统，该光栅由上至下由顶层Ta2O5介质材料构成二维圆形孔洞结构光栅层、SiO2介质缓冲层、Ag金属层和基底构成光栅结构；所述的顶层二维结构介质光栅层为对称排放的二维圆柱形孔洞或圆台孔洞型阵列结构。本发明的偏振无关多层金属介质二维孔洞阵列光栅可以使TE和TM两种偏振模式的入射光以利特罗角(Littrow)入射时，(-1，0)级反射衍射效率在中心波长780纳米波长高于98％，且两个偏振态之间的效率差异小于0.3％，衍射效率平衡达到99.74％，实现对偏振无关入射光的高效率衍射，同时制作容宽大，方便制作。