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公开(公告)号:CN111007016A
公开(公告)日:2020-04-14
申请号:CN201911248661.5
申请日:2019-12-09
Applicant: 暨南大学
Abstract: 一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块,所述待测样品设置于偏振照明模块内,所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜,平行光路模块产生的光速通过偏振照明模块,随后依次通过第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜形成光斑传输至图像收集模块。
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