一种环状碳化硼-氧化铝芯块及近净尺寸成型制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118754622A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202410915907.4

    申请日:2024-07-09

    Abstract: 本发明提供一种环状碳化硼‑氧化铝芯块及近净尺寸成型制备方法和应用,采用湿法球磨先行将B4C、Al2O3、烧结助剂混合均匀,再添加表面改性剂进行进一步球磨,形成调制浆料,调制浆料经喷雾造粒,形成球形复合粉体,球形复合粉体经干式等静压压制,形成薄壁管生坯;对薄壁管生坯进行梯度升温烧结和表面精加工,最终得到环状碳化硼‑氧化铝芯块;表面改性剂的添加有利于提高调制浆料的均匀性以及喷雾造粒形成的球形复合粉体的流动性;高温烧结时,通过设置合理的保温点,确保表面改性剂完全脱除,并在烧结致密化过程中,优选在微正压的氩气氛围中进行中温段(1200℃)保温,再升温至1400~1600℃进行烧结,精准控制芯块的变形量、密度、内径收缩率的变化。

    一种碳硅陶瓷靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN111320478B

    公开(公告)日:2022-02-11

    申请号:CN202010234099.7

    申请日:2020-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种碳硅陶瓷靶材的制备方法。该制备方法包括以下步骤:(1)根据要制备的靶材的碳硅比,称量石墨粉体、单质硅粉体、SiC粉体,其中单质硅粉体占三者总量的5at%‑15at%;(2)将石墨粉体与单质硅粉体采用卧轴球磨法破碎和混合,得到碳硅预球磨粉体;(3)在碳硅预球磨粉体中添加已称量好的SiC粉体,并置于卧轴球磨罐内球磨混合2小时,得到复合原料粉体;(4)将复合原料粉体筛分后,装入石墨模具中,将模具放在热压炉中,抽真空<500pa时充入氩气,采用前段快速升温、中段液相烧结和高温氩气保护烧结;(5)冷却得到碳硅陶瓷靶材坯料,经加工、清洗、烘干得到碳硅陶瓷靶材。本发明制备的碳硅陶瓷靶材的相对密度大于90%,硅掺杂含量误差+/‑1at%,电阻率低于0.05Ω·cm,适用于溅射制备DLC薄膜。

    一种镀膜用氧化铈颗粒的制备方法

    公开(公告)号:CN111393165A

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN202010234167.X

    申请日:2020-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种镀膜用氧化铈颗粒的制备方法,包括以下步骤:(1)以高纯氧化铈粉体为原料,向其中添加去离子水并进行造粒处理,得到结合紧密的氧化铈片状物;(2)将得到的片状物研磨破碎,并筛分出<0.1mm的预处理粉体;(3)将所得预处理粉体装入胶套中进行冷等静压成型为坯体。(4)将所得坯体按照如下烧结工艺进行烧结:2-3小时升温到300-400℃保温1h-2h,2小时升到600℃-800℃保温1h-2h,4小时升温到1000℃-1200℃保温1h-2h,4小时升温到1300℃保温1h-2h,2小时升温至1400℃保温1-2h,1小时升温到1450-1550℃保温3h-5h;(5)冷却得到氧化铈烧结坯料,将坯料进行破碎和筛分得到镀膜用氧化铈颗粒。该方法生产的氧化铈颗粒具有高纯度、高密度、低喷溅等优点。

    一种碳硅陶瓷靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN111320478A

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN202010234099.7

    申请日:2020-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种碳硅陶瓷靶材的制备方法。该制备方法包括以下步骤:(1)根据要制备的靶材的碳硅比,称量石墨粉体、单质硅粉体、SiC粉体,其中单质硅粉体占三者总量的5at%-15at%;(2)将石墨粉体与单质硅粉体采用卧轴球磨法破碎和混合,得到碳硅预球磨粉体;(3)在碳硅预球磨粉体中添加已称量好的SiC粉体,并置于卧轴球磨罐内球磨混合2小时,得到复合原料粉体;(4)将复合原料粉体筛分后,装入石墨模具中,将模具放在热压炉中,抽真空<500pa时充入氩气,采用前段快速升温、中段液相烧结和高温氩气保护烧结;(5)冷却得到碳硅陶瓷靶材坯料,经加工、清洗、烘干得到碳硅陶瓷靶材。本发明制备的碳硅陶瓷靶材的相对密度大于90%,硅掺杂含量误差+/-1at%,电阻率低于0.05Ω·cm,适用于溅射制备DLC薄膜。

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