公开(公告)号：CN106015813A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610196124.0

申请日：2016-03-31

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 卡尔·F·李瑟

IPC: F16L53/00 ,  F16L59/02

Abstract: 本发明提供了用于管道组件热控制的装置以及相关方法。管道组件包括多个管道结构，该多个管道结构以提供通过所述多个管道结构从所述多个管道结构的流体入口到所述管道结构的流体出口的一个或多个流体通道的配置方式相互连接。电阻加热丝线从所述流体入口到所述流体出口以不间断的方式围绕多个管道结构卷绕。电阻加热丝线具有位于邻近多个管道结构的流体入口处的第一电导线和位于邻近多个管道结构的流体出口处的第二电导线。热绝缘材料包覆层设置在多个管道结构的整体上并且以维持第一和第二电导线露出的方式覆盖围绕多个管道结构卷绕的电阻加热丝线。

公开(公告)号：CN105714272B

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201510969185.1

申请日：2015-12-21

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 普鲁沙塔姆·库马尔 ,  康胡 ,  阿德里安·拉瓦伊 ,  赵伊春 ,  弗兰克·L·帕斯夸里 ,  钱俊 ,  克洛伊·巴尔达赛罗尼 ,  尚卡·斯瓦米纳森 ,  卡尔·F·李瑟 ,  大卫·查尔斯·史密斯 ,  威-吉·赖

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明涉及用于提高膜均匀性的装置和方法，本发明已经构思了用于在衬底处理装置中使用的多阶段工艺气体输送系统。在某些实施方式中，第一工艺气体可以首先被输送到在衬底处理室中的衬底上。在稍后的时间，第二工艺气体可被输送到衬底以促进衬底的均匀投配。可以在相同的时间停止或在不同的时间停止第一工艺气体和第二工艺气体的输送。

公开(公告)号：CN107104067B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201710100583.9

申请日：2017-02-23

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 卡尔·F·李瑟

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种流通管线充气容积部件。提供了用于将气体输送到用于处理半导体晶片的反应器的充气容积配置。充气容积部件包括在近端和远端之间延伸的室。基部连接到所述室的近端，并且所述基部包括入口端口和出口端口。管设置在室内。管具有小于室直径的管直径。管具有在室的近端处耦合到入口端口的连接端和设置在室的远端处的输出端。

公开(公告)号：CN105714272A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201510969185.1

申请日：2015-12-21

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 普鲁沙塔姆·库马尔 ,  康胡 ,  阿德里安·拉瓦伊 ,  赵伊春 ,  弗兰克·L·帕斯夸里 ,  钱俊 ,  克洛伊·巴尔达赛罗尼 ,  尚卡·斯瓦米纳森 ,  卡尔·F·李瑟 ,  大卫·查尔斯·史密斯 ,  威-吉·赖

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/45527 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明涉及用于提高膜均匀性的装置和方法，本发明已经构思了用于在衬底处理装置中使用的多阶段工艺气体输送系统。在某些实施方式中，第一工艺气体可以首先被输送到在衬底处理室中的衬底上。在稍后的时间，第二工艺气体可被输送到衬底以促进衬底的均匀投配。可以在相同的时间停止或在不同的时间停止第一工艺气体和第二工艺气体的输送。

公开(公告)号：CN110260082A

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201910352813.X

申请日：2016-03-31

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 卡尔·F·李瑟

IPC: F16L53/38 ,  F16L59/10

Abstract: 本发明提供了用于管道组件热控制的装置以及相关方法。管道组件包括多个管道结构，该多个管道结构以提供通过所述多个管道结构从所述多个管道结构的流体入口到所述管道结构的流体出口的一个或多个流体通道的配置方式相互连接。电阻加热丝线从所述流体入口到所述流体出口以不间断的方式围绕多个管道结构卷绕。电阻加热丝线具有位于邻近多个管道结构的流体入口处的第一电导线和位于邻近多个管道结构的流体出口处的第二电导线。热绝缘材料包覆层设置在多个管道结构的整体上并且以维持第一和第二电导线露出的方式覆盖围绕多个管道结构卷绕的电阻加热丝线。

公开(公告)号：CN106015813B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201610196124.0

申请日：2016-03-31

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 卡尔·F·李瑟

IPC: F16L53/38 ,  F16L59/02

Abstract: 本发明提供了用于管道组件热控制的装置以及相关方法。管道组件包括多个管道结构，该多个管道结构以提供通过所述多个管道结构从所述多个管道结构的流体入口到所述管道结构的流体出口的一个或多个流体通道的配置方式相互连接。电阻加热丝线从所述流体入口到所述流体出口以不间断的方式围绕多个管道结构卷绕。电阻加热丝线具有位于邻近多个管道结构的流体入口处的第一电导线和位于邻近多个管道结构的流体出口处的第二电导线。热绝缘材料包覆层设置在多个管道结构的整体上并且以维持第一和第二电导线露出的方式覆盖围绕多个管道结构卷绕的电阻加热丝线。

公开(公告)号：CN107104067A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201710100583.9

申请日：2017-02-23

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 卡尔·F·李瑟

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种流通管线充气容积。提供了用于将气体输送到用于处理半导体晶片的反应器的充气容积配置。充气容积包括在近端和远端之间延伸的室。基部连接到所述室的近端，并且所述基部包括入口端口和出口端口。管设置在室内。管具有小于室直径的管直径。管具有在室的近端处耦合到入口端口的连接端和设置在室的远端处的输出端。