公开(公告)号：CN105714272A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201510969185.1

申请日：2015-12-21

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 普鲁沙塔姆·库马尔 ,  康胡 ,  阿德里安·拉瓦伊 ,  赵伊春 ,  弗兰克·L·帕斯夸里 ,  钱俊 ,  克洛伊·巴尔达赛罗尼 ,  尚卡·斯瓦米纳森 ,  卡尔·F·李瑟 ,  大卫·查尔斯·史密斯 ,  威-吉·赖

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/45527 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明涉及用于提高膜均匀性的装置和方法，本发明已经构思了用于在衬底处理装置中使用的多阶段工艺气体输送系统。在某些实施方式中，第一工艺气体可以首先被输送到在衬底处理室中的衬底上。在稍后的时间，第二工艺气体可被输送到衬底以促进衬底的均匀投配。可以在相同的时间停止或在不同的时间停止第一工艺气体和第二工艺气体的输送。

公开(公告)号：CN105714272B

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201510969185.1

申请日：2015-12-21

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 普鲁沙塔姆·库马尔 ,  康胡 ,  阿德里安·拉瓦伊 ,  赵伊春 ,  弗兰克·L·帕斯夸里 ,  钱俊 ,  克洛伊·巴尔达赛罗尼 ,  尚卡·斯瓦米纳森 ,  卡尔·F·李瑟 ,  大卫·查尔斯·史密斯 ,  威-吉·赖

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明涉及用于提高膜均匀性的装置和方法，本发明已经构思了用于在衬底处理装置中使用的多阶段工艺气体输送系统。在某些实施方式中，第一工艺气体可以首先被输送到在衬底处理室中的衬底上。在稍后的时间，第二工艺气体可被输送到衬底以促进衬底的均匀投配。可以在相同的时间停止或在不同的时间停止第一工艺气体和第二工艺气体的输送。