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公开(公告)号：CN118382919A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202280082416.5
申请日：2022-12-07
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 迈克尔·菲利普·罗伯茨 , 巴拉斯·库马尔·施萨拉曼 , 瑞安·布拉基埃
IPC: H01L21/67 , C23C16/455 , F16K27/02
Abstract: 一种衬底处理系统包括N个阀系统，其分别连接到N个站。每个阀系统包含：歧管块体、多个阀和流量控制设备。歧管块体包含接收处理气体和惰性气体的入口、连接至站的出口、以及被配置在所述歧管块体内并连接至所述入口和所述出口的多个气体流动通道。所述阀被安装至所述歧管块体并控制流过所述出口的所述处理气体和所述惰性气体的流量。所述流量控制设备被安装至所述歧管块体并控制流过所述歧管块体而到达所述N个站中的一站内的所述惰性气体的流量。所述N个阀系统中的每一个的所述流量控制设备被校准以平衡所述N个站中的所述惰性气体的所述流量。
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