公开(公告)号：CN112567070B

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN201980052791.3

申请日：2019-08-05

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尼克·拉伊·小林百格 ,  柯蒂斯·W·贝利 ,  伊斯瓦·斯里尼瓦桑 ,  德文·佩尔基

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/505

Abstract: 一种用于等离子体室的喷头包括：电阻式加热器，其被配置成接收功率以加热所述等离子体室的所述喷头；和电阻元件，其热接合至所述等离子体室的所述喷头。所述电阻元件响应于所述喷头的温度的改变而改变电阻。所述电阻元件被封装在绝缘材料中以使所述电阻元件与所述喷头电绝缘。所述绝缘材料是良好的热导体。基于所述电阻元件的所述电阻，接收至所述电阻式加热器的所述功率。

公开(公告)号：CN117660933A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311341983.0

申请日：2019-08-05

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尼克·拉伊·小林百格 ,  柯蒂斯·W·贝利 ,  伊斯瓦·斯里尼瓦桑 ,  德文·佩尔基

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/505 ,  C23C16/50 ,  H05B1/02 ,  H05B3/22

Abstract: 一种用于等离子体室的喷头包括：电阻式加热器，其被配置成接收功率以加热所述等离子体室的所述喷头；和电阻元件，其热接合至所述等离子体室的所述喷头。所述电阻元件响应于所述喷头的温度的改变而改变电阻。所述电阻元件被封装在绝缘材料中以使所述电阻元件与所述喷头电绝缘。所述绝缘材料是良好的热导体。基于所述电阻元件的所述电阻，接收至所述电阻式加热器的所述功率。

公开(公告)号：CN112567070A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201980052791.3

申请日：2019-08-05

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尼克·拉伊·小林百格 ,  柯蒂斯·W·贝利 ,  伊斯瓦·斯里尼瓦桑 ,  德文·佩尔基

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/505

Abstract: 一种用于等离子体室的喷头包括：电阻式加热器，其被配置成接收功率以加热所述等离子体室的所述喷头；和电阻元件，其热接合至所述等离子体室的所述喷头。所述电阻元件响应于所述喷头的温度的改变而改变电阻。所述电阻元件被封装在绝缘材料中以使所述电阻元件与所述喷头电绝缘。所述绝缘材料是良好的热导体。基于所述电阻元件的所述电阻，接收至所述电阻式加热器的所述功率。