同步移动装置和图像测量设备

    公开(公告)号:CN101865669B

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201010163263.6

    申请日:2010-04-14

    CPC classification number: G01B11/24

    Abstract: 一种同步移动装置,包括:装置主体;设置在装置主体内以可移动的可移动部分;进给丝杠轴,该进给丝杠轴被支撑在所述装置主体上以便可以转动并且移动所述可移动部分;与所述进给丝杠轴螺纹啮合的螺母元件;将所述可移动部分与所述螺母元件相连接的耦合器;以及电缆固定件,且支撑并导引铺设到所述可移动部分中的电缆,所述耦合器包括固定在可移动部分上的第一元件、固定在螺母元件上的第二元件、以及置于第一元件和第二元件之间用于吸收在与所述进给丝杠轴的轴线正交的平面内的所述进给丝杠轴的偏转运动的中间元件;且所述电缆固定件的在将电缆铺设到可移动部分中的一侧上的端部通过连接元件连接到第二元件,并且与所述可移动部分同步移动。

    同步移动装置和图像测量设备

    公开(公告)号:CN101865669A

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN201010163263.6

    申请日:2010-04-14

    CPC classification number: G01B11/24

    Abstract: 一种同步移动装置,包括:装置主体;设置在装置主体内以可移动的可移动部分;进给丝杠轴,该进给丝杠轴被支撑在所述装置主体上以便可以转动并且移动所述可移动部分;与所述进给丝杠轴螺纹啮合的螺母元件;将所述可移动部分与所述螺母元件相连接的耦合器;以及电缆固定件,且支撑并导引铺设到所述可移动部分中的电缆,所述耦合器包括固定在可移动部分上的第一元件、固定在螺母元件上的第二元件、以及置于第一元件和第二元件之间用于吸收在与所述进给丝杠轴的轴线正交的平面内的所述进给丝杠轴的偏转运动的中间元件;且所述电缆固定件的在将电缆铺设到可移动部分中的一侧上的端部通过连接元件连接到第二元件,并且与所述可移动部分同步移动。

    载物台装置和图像测量装置

    公开(公告)号:CN100520375C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200510076671.7

    申请日:2005-06-13

    CPC classification number: G01B11/2433 G01B11/002

    Abstract: 一种载物台装置,它具有:放置玻璃(210),在其上表面上具有大致平面的载物面(211),在该载物面(211)上放置有规定工件(W);面状的面发光体(220),它设置在放置玻璃(210)的下表面的大致整面上,透过放置玻璃(210)而对工件(W)进行透射照明;支承部(300),它支承面发光体(220)下表面侧的多个点,并通过分别调整所支承各点的高度而调整载物面(211)的平面度。

    载物台装置和图像测量装置

    公开(公告)号:CN1707248A

    公开(公告)日:2005-12-14

    申请号:CN200510076671.7

    申请日:2005-06-13

    CPC classification number: G01B11/2433 G01B11/002

    Abstract: 一种载物台装置,它具有:放置玻璃(210),在其上表面上具有大致平面的载物面(211),在该载物面(211)上放置有规定工件(W);面状的面发光体(220),它设置在放置玻璃(210)的下表面的大致整面上,透过放置玻璃(210)而对工件(W)进行透射照明;支承部(300),它支承面发光体(220)下表面侧的多个点,并通过分别调整所支承各点的高度而调整载物面(211)的平面度。

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