形状的评价方法、部件的制造方法以及形状的评价系统

    公开(公告)号:CN112595256B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202010787419.1

    申请日:2020-08-07

    Inventor: 上北将广

    Abstract: 本发明提供能够以简单的设备高精度地评价被测量面的形状的形状的评价方法以及形状的评价系统、使用了这种形状的评价方法的高精度的部件的制造方法。形状的评价方法具备如下工序:将对象物的被测量面的形状以在第一方向上邻接的一对测量区域具有重复区域的方式进行局部测量,取得每个所述测量区域的测量数据;针对每一个所述测量区域的计算出从所述测量数据中去除了与所述第一方向交叉的第二方向上的形状的变动后的所述第一方向上的形状的代表数据;以及以在沿所述第一方向邻接的一对所述代表数据中所述重复区域的形状差成为最小的方式连接多个所述代表数据,合成所述被测量面的整体的形状数据。

    传感器单元及传感器系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116576993A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202310040368.X

    申请日:2023-01-13

    Inventor: 上北将广

    Abstract: 提供一种与工件尺寸相关的约束少、能够以低成本构建高灵敏度的力觉检测系统的传感器单元及传感器系统。实施方式的传感器单元具备:线状的压电传感器;以及测定部,形成有对压电传感器的一部分进行保持的导向槽,且具有以规定压力与测定对象物抵接的抵接面。

    形状的评价方法、部件的制造方法以及形状的评价系统

    公开(公告)号:CN112595256A

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN202010787419.1

    申请日:2020-08-07

    Inventor: 上北将广

    Abstract: 本发明提供能够以简单的设备高精度地评价被测量面的形状的形状的评价方法以及形状的评价系统、使用了这种形状的评价方法的高精度的部件的制造方法。形状的评价方法具备如下工序:将对象物的被测量面的形状以在第一方向上邻接的一对测量区域具有重复区域的方式进行局部测量,取得每个所述测量区域的测量数据;针对每一个所述测量区域的计算出从所述测量数据中去除了与所述第一方向交叉的第二方向上的形状的变动后的所述第一方向上的形状的代表数据;以及以在沿所述第一方向邻接的一对所述代表数据中所述重复区域的形状差成为最小的方式连接多个所述代表数据,合成所述被测量面的整体的形状数据。

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