公开(公告)号：CN107209461A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680006570.9

申请日：2016-02-26

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 铃木智也 ,  奈良圭 ,  加藤正纪 ,  渡辺智行 ,  鬼头义昭 ,  堀正和 ,  林田洋祐 ,  小宫山弘树

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种基板处理装置，具备：旋转圆筒DR，以既定速度往与基板P宽度方向交叉的搬送方向搬送；描绘装置11，具有多个描绘模块UW1～UW5，将投射于基板P的描绘光束沿着基板P的描绘线扫描以将既定图案描绘于基板P上，以通过多个描绘模块UW1～UW5的各个而描绘于基板P上的图案彼此在宽度方向相接合的方式，将彼此在宽度方向相邻的描绘线于搬送方向配置成相隔既定间隔；调整机构24，调整描绘线相对于基板P宽度方向的倾斜；以及旋转位置检测机构，检测出基板P的搬送速度；根据以旋转位置检测机构检测出的搬送速度，通过旋转机构24调整描绘线的相对倾斜。

公开(公告)号：CN110794651B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201911069205.4

申请日：2016-02-26

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 铃木智也 ,  奈良圭 ,  加藤正纪 ,  渡辺智行 ,  鬼头义昭 ,  堀正和 ,  林田洋祐 ,  小宫山弘树

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种基板处理装置，具备：旋转圆筒DR，以既定速度往与基板P宽度方向交叉的搬送方向搬送；描绘装置11，具有多个描绘模块UW1～UW5，将投射于基板P的描绘光束沿着基板P的描绘线扫描以将既定图案描绘于基板P上，以通过多个描绘模块UW1～UW5的各个而描绘于基板P上的图案彼此在宽度方向相接合的方式，将彼此在宽度方向相邻的描绘线于搬送方向配置成相隔既定间隔；调整机构24，调整描绘线相对于基板P宽度方向的倾斜；以及旋转位置检测机构，检测出基板P的搬送速度；根据以旋转位置检测机构检测出的搬送速度，通过旋转机构24调整描绘线的相对倾斜。

公开(公告)号：CN107209461B

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201680006570.9

申请日：2016-02-26

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 铃木智也 ,  奈良圭 ,  加藤正纪 ,  渡辺智行 ,  鬼头义昭 ,  堀正和 ,  林田洋祐 ,  小宫山弘树

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种基板处理装置，具备：旋转圆筒DR，以既定速度往与基板P宽度方向交叉的搬送方向搬送；描绘装置11，具有多个描绘模块UW1～UW5，将投射于基板P的描绘光束沿着基板P的描绘线扫描以将既定图案描绘于基板P上，以通过多个描绘模块UW1～UW5的各个而描绘于基板P上的图案彼此在宽度方向相接合的方式，将彼此在宽度方向相邻的描绘线于搬送方向配置成相隔既定间隔；调整机构24，调整描绘线相对于基板P宽度方向的倾斜；以及旋转位置检测机构，检测出基板P的搬送速度；根据以旋转位置检测机构检测出的搬送速度，通过旋转机构24调整描绘线的相对倾斜。