公开(公告)号：CN100590826C

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200810005590.1

申请日：2008-02-14

Applicant: 株式会社新川

Inventor： 掘之正幸 ,  藤田和雄

IPC: H01L21/60 ,  B23K37/00 ,  B23K20/00 ,  B23K101/40

CPC classification number: B08B7/0035 ,  B65H57/00 ,  B65H2301/5115 ,  H01L24/45 ,  H01L24/78 ,  H01L24/80 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/786 ,  H01L2224/85009 ,  H01L2224/8501 ,  H01L2224/85013 ,  H01L2224/851 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/0101 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2224/48 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2924/01049

Abstract: 本发明涉及引线清洗导向装置。设有等离子发生室(41)，从等离子用气体供给部(34)供给等离子用气体，从等离子发生用的高频电力供给部(32)供给高频电力，引线(12)通过设在等离子发生室(41)的绝缘套(43，45)的导向孔(44，46)。引线(12)接地，在引线(12)和等离子发生室之间通以高频电力，在等离子发生室内部使得等离子用气体等离子化，清洗引线(12)。使得引线输出部侧导向孔(44)的孔径比焊接工具侧导向孔(46)的孔径大，以便使得从引线输出部侧的导向孔(44)流出的引线清洗后的气体流量比从焊接工具侧的导向孔(46)流出的引线清洗后的气体流量多。在接合装置中，焊接时在引线路线上能有效除去引线表面异物。

公开(公告)号：CN101246827A

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200810005590.1

申请日：2008-02-14

Applicant: 株式会社新川

Inventor： 掘之正幸 ,  藤田和雄

IPC: H01L21/60 ,  B23K37/00 ,  B23K20/00 ,  B23K101/40

CPC classification number: B08B7/0035 ,  B65H57/00 ,  B65H2301/5115 ,  H01L24/45 ,  H01L24/78 ,  H01L24/80 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/786 ,  H01L2224/85009 ,  H01L2224/8501 ,  H01L2224/85013 ,  H01L2224/851 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/0101 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2224/48 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2924/01049

Abstract: 本发明涉及引线清洗导向装置。设有等离子发生室(41)，从等离子用气体供给部(34)供给等离子用气体，从等离子发生用的高频电力供给部(32)供给高频电力，引线(12)通过设在等离子发生室(41)的绝缘套(43，45)的导向孔(44，46)。引线(12)接地，在引线(12)和等离子发生室之间通以高频电力，在等离子发生室内部使得等离子用气体等离子化，清洗引线(12)。使得引线输出部侧导向孔(44)的孔径比焊接工具侧导向孔(46)的孔径大，以便使得从引线输出部侧的导向孔(44)流出的引线清洗后的气体流量比从焊接工具侧的导向孔(46)流出的引线清洗后的气体流量多。在接合装置中，焊接时在引线路线上能有效除去引线表面异物。