靶接合体
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104411861A

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:CN201380033320.0

    申请日:2013-06-11

    CPC classification number: C23C14/3414 C23C14/3407

    Abstract: 一种具备溅射靶和背衬板及钎料,且溅射靶的背面经由钎料与背衬板接合的靶接合体。所述溅射靶,是含有Mn为2~30原子%的Cu-Mn合金,并且,所述钎料中存在的孔隙对溅射靶背面的投影面积的合计相以于溅射靶背面的接合区域全体的面积为16%以下。

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