-
公开(公告)号:CN115808673A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202211027257.7
申请日:2022-08-25
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01S7/4913 , G01S17/32
Abstract: 本发明提供适当地识别各干涉光的峰值并能够高精度地测距的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器(100)具备:波长扫描光源(110),其一边使波长连续地变化一边投射光;干涉仪(120),其包括分支部(121),该分支部使从波长扫描光源投射的光以照射于计测对象物中的多个斑点的方式分支,针对该分支出的各个光,基于照射于该计测对象物并由该计测对象物反射的测定光和至少一部分沿着与该测定光不同的光路的参照光而产生各干涉光;受光部(130),其接受各干涉光;以及处理部(140),其使各干涉光中的检测出的峰值与斑点建立对应并计算出至计测对象物为止的距离,针对与多个斑点对应地被分支出的各个光,设定为测定光与参照光之间的光路长度差不同。
-
公开(公告)号:CN116736314A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310198621.4
申请日:2023-02-27
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01S17/08 , G01S7/481 , G01B9/02004
Abstract: 本发明提供能够根据到测量对象物的测量距离设定适当的测量条件的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器(100)具备:光源(110),边改变波长边投射光;干涉仪(130),被供给从光源投射的光,并生成基于测定光和参照光的干涉光,测定光是通过传感头(131)照射到测量对象物(T)并被反射的光,参照光是沿至少一部分与测定光不同的光路行进的光;受光部(140),接收来自干涉仪的干涉光并转换为电信号;处理部(150),基于经受光部转换后的电信号,算出从传感头至测量对象物的距离;辨别单元(160),基于以干涉仪生成的差拍信号辨别传感头;以及设定单元(170),设定与通过辨别单元辨别出的传感头对应的测量条件。
-
公开(公告)号:CN119790279A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202380061444.3
申请日:2023-08-29
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B9/02004 , G01B9/02055 , G01B11/00
Abstract: 减少采样的定时的偏离。控制器(110)经由光纤线缆(130)分别与向计测对象物照射光的第1传感器头(121)和第2传感器头(122)连接,该控制器具备:光源(140);第1主干涉仪(151),其生成第1主干涉信号;第2主干涉仪(152),其生成第2主干涉信号;以及副干涉仪(160),其生成副干涉信号,控制器(110)还具备:第1校正信号生成部(171),其生成第1校正信号;延迟量生成部,其生成基于第1光纤(131)的光路长度与第2光纤(132)的光路长度的光路长度差的延迟量;以及第2校正信号生成部(172),其基于副干涉信号和延迟量,生成对第2主干涉信号的采样周期进行校正的第2校正信号。
-
公开(公告)号:CN116736313A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310159937.2
申请日:2023-02-14
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明公开了光干涉测距传感器,在预先将一定程度弱的干涉光排除的基础上进行测距的光干涉测距传感器中,提高相对于测量对象物的倾斜校正的精度。本发明一方式涉及的光干涉测距传感器具备的处理部具备:转换部,将第一电信号转换为表示干涉仪至测量对象物的距离的第一距离值;倾斜值计算部,根据第一距离值计算倾斜值;第一距离值校正部,根据倾斜值对第一距离值进行校正;第二距离值计算部,根据通过第一距离值校正部校正后的第一距离值计算表示光干涉测距传感器至测量对象物的距离的第二距离值,当检测到第一电信号的次数小于第二阈值时,第一距离值校正部将第一距离值根据存储部中顺序比与该第一距离值相对应的倾斜值更靠前的倾斜值进行校正。
-
公开(公告)号:CN115808694A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202211035321.6
申请日:2022-08-26
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 一种光干涉测距传感器,能够排除对计测对象物的计测产生影响的噪声,并能够高精度地测距。光干涉测距传感器具备波长扫描光源、光耦合器、干涉仪、受光部、处理部,并且具备反射点,该反射点使从波长扫描光源投射而输入至光耦合器的第1端口的光中的被分支至光耦合器的第4端口的光反射。此时,在从光耦合器的第3端口至参照面为止的光路长度为L1、从光耦合器的第4端口至反射点为止的光路长度为L2、从参照面至对计测对象物照射测定光的传感器头的前端为止的光路长度为LH以及计测对象物的计测范围为R的情况下,满足L1‑L2>(LH+R)*2或者L1‑L2<LH*2。
-
公开(公告)号:CN116734725A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310193331.0
申请日:2023-02-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B9/02002 , G01B9/02015 , G01B9/02055 , G01B11/14
Abstract: 本发明提供的光干涉测距传感器,通过由受光部以适当的信号强度接收来自各干涉仪的返回光,从而能够高精度地进行测距。光干涉测距传感器(100)具备:光源(110),在改变波长的同时投射光;多个干涉仪(130a~130c),生成基于测定光和参考光的干涉光;多级的光耦合器(120a~120c);受光部(140a~140c),接收各干涉光并转换为电信号;以及处理部(150),根据通过受光部转换的电信号算出到测量对象物为止的距离,向多级的光耦合器(120a~120c)供给的光按照朝向分别对应的干涉仪的第一分支比和朝向该光耦合器的后级的第二分支比分支,这些分支比至少根据该光耦合器的第一分支比及该光耦合器的后级的光耦合器的第一分支比与第二分支比之积进行设定。
-
公开(公告)号:CN115808670A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202211052119.4
申请日:2022-08-29
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供光干涉测距传感器,通过抑制光耦合器间的返回光而提高了计测精度。本发明的一方式所涉及的光干涉测距传感器具备:光源,其一边使波长连续地变化一边投射光;多个干涉仪,其基于通过将供给的光引导至计测对象物而从计测对象物反射的测定光和至少一部分沿着与测定光不同的光路的参照光而生成干涉光;多级光耦合器,其为串联连接的多级光耦合器,且从前级接受来自光源的光并使光分支于多个干涉仪中的对应的干涉仪和后级而供给;抑制机构,其抑制光从多级光耦合器的后级向前级的供给;以及处理部,其基于多个干涉仪生成的多个干涉光,计算至计测对象物为止的距离。
-
公开(公告)号:CN113390444A
公开(公告)日:2021-09-14
申请号:CN202110180753.5
申请日:2021-02-08
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01D5/353
Abstract: 提供一种多通道的光干涉测量装置,其不会导致装置大型化且低成本。由第1测量头接收的第1返回光经由第1光路和光纤耦合器被引导到检测器,由第2测量头接收的第2返回光经由第2光路和光纤耦合器被引导到检测器。从光纤耦合器到第1测量头的末端的光路长度D1、从光纤耦合器到第2测量头的末端的光路长度D2、第1测量头的测量范围的最大光路长度R1max、与第1返回光干涉的第1参照光的光路长度S1、与第2返回光干涉的第2参照光的光路长度S2被设定为满足D1+R1max‑S1
-
公开(公告)号:CN116736312A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310147134.5
申请日:2023-02-21
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 一种光干涉测距传感器,即使与测量对象物之间的距离加速度地变化,也能够高精度地测量该距离。光干涉测距传感器具备:光源,使用规定的扫频频率模式,一边连续改变波长一边投射光;处理部,根据通过受光部转换的电信号测量到测量对象物为止的距离;以及存储部,存储表示测量出的距离的距离信息,规定的扫频频率模式包含第一扫频频率模式和第二扫频频率模式,处理部包括平均距离值计算部,所述平均距离值计算部根据测量出的距离和存储于存储部的过去多次的距离信息中的第一距离信息及第二距离信息算出平均距离值,第一距离信息表示基于使用第一扫频频率模式投射的光的距离,第二距离信息表示基于使用第二扫频频率模式投射的光的距离。
-
公开(公告)号:CN115808669A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202210946006.2
申请日:2022-08-08
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明公开了即便在计测对象物包含粗糙面及镜面的情况下也能适当地测距的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器具备:波长扫描光源;干涉仪,包括使从波长扫描光源投射的光分支的分支部,针对该分支出的各个光,基于照射于计测对象物并由计测对象物反射的测定光和沿着与该测定光至少一部分不同的光路的参照光而产生各干涉光;受光部,接受各干涉光;处理部,根据镜面模式或粗糙面模式,使检测出的峰值与斑点相对应而计算出至计测对象物为止的距离,针对被分支出的各个光,设定为光路长度差不同,在镜面模式的情况下,处理部将基于与光路长度差为最短的斑点对应的峰值而计算出的距离作为至计测对象物为止的测距结果。
-
-
-
-
-
-
-
-
-