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公开(公告)号:CN115808673A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202211027257.7
申请日:2022-08-25
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01S7/4913 , G01S17/32
Abstract: 本发明提供适当地识别各干涉光的峰值并能够高精度地测距的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器(100)具备:波长扫描光源(110),其一边使波长连续地变化一边投射光;干涉仪(120),其包括分支部(121),该分支部使从波长扫描光源投射的光以照射于计测对象物中的多个斑点的方式分支,针对该分支出的各个光,基于照射于该计测对象物并由该计测对象物反射的测定光和至少一部分沿着与该测定光不同的光路的参照光而产生各干涉光;受光部(130),其接受各干涉光;以及处理部(140),其使各干涉光中的检测出的峰值与斑点建立对应并计算出至计测对象物为止的距离,针对与多个斑点对应地被分支出的各个光,设定为测定光与参照光之间的光路长度差不同。
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公开(公告)号:CN116734725A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310193331.0
申请日:2023-02-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B9/02002 , G01B9/02015 , G01B9/02055 , G01B11/14
Abstract: 本发明提供的光干涉测距传感器,通过由受光部以适当的信号强度接收来自各干涉仪的返回光,从而能够高精度地进行测距。光干涉测距传感器(100)具备:光源(110),在改变波长的同时投射光;多个干涉仪(130a~130c),生成基于测定光和参考光的干涉光;多级的光耦合器(120a~120c);受光部(140a~140c),接收各干涉光并转换为电信号;以及处理部(150),根据通过受光部转换的电信号算出到测量对象物为止的距离,向多级的光耦合器(120a~120c)供给的光按照朝向分别对应的干涉仪的第一分支比和朝向该光耦合器的后级的第二分支比分支,这些分支比至少根据该光耦合器的第一分支比及该光耦合器的后级的光耦合器的第一分支比与第二分支比之积进行设定。
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公开(公告)号:CN115808670A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202211052119.4
申请日:2022-08-29
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供光干涉测距传感器,通过抑制光耦合器间的返回光而提高了计测精度。本发明的一方式所涉及的光干涉测距传感器具备:光源,其一边使波长连续地变化一边投射光;多个干涉仪,其基于通过将供给的光引导至计测对象物而从计测对象物反射的测定光和至少一部分沿着与测定光不同的光路的参照光而生成干涉光;多级光耦合器,其为串联连接的多级光耦合器,且从前级接受来自光源的光并使光分支于多个干涉仪中的对应的干涉仪和后级而供给;抑制机构,其抑制光从多级光耦合器的后级向前级的供给;以及处理部,其基于多个干涉仪生成的多个干涉光,计算至计测对象物为止的距离。
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公开(公告)号:CN113390444A
公开(公告)日:2021-09-14
申请号:CN202110180753.5
申请日:2021-02-08
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01D5/353
Abstract: 提供一种多通道的光干涉测量装置,其不会导致装置大型化且低成本。由第1测量头接收的第1返回光经由第1光路和光纤耦合器被引导到检测器,由第2测量头接收的第2返回光经由第2光路和光纤耦合器被引导到检测器。从光纤耦合器到第1测量头的末端的光路长度D1、从光纤耦合器到第2测量头的末端的光路长度D2、第1测量头的测量范围的最大光路长度R1max、与第1返回光干涉的第1参照光的光路长度S1、与第2返回光干涉的第2参照光的光路长度S2被设定为满足D1+R1max‑S1
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公开(公告)号:CN110440686A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910267790.2
申请日:2019-04-03
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供即使探头发生位置偏移也能够高精度地测量被测量对象的三维形状的技术。设定曝光时间(步骤11),多次进行探头的位置测量(步骤12)。计算多个形态的平均次数的位置测量误差(步骤13)。计算测量时间与所计算出的定位误差的对应表(步骤14)。使用所准备的测量时间与手抖误差的对应表,计算设定曝光时间与测量时间(手抖误差+定位误差)的对应表(步骤15)。针对作为设定候补的所有曝光时间来重复步骤11~15,计算测量时间与位置测量误差的对应表(步骤16)。设定可使位置测量误差最小的曝光时间和平均次数(步骤17)。
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公开(公告)号:CN119790280A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202380061455.1
申请日:2023-08-30
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor: 木村和哉
IPC: G01B9/02004 , G01B9/02055 , G01B11/00
Abstract: 在适当的定时对由主干涉仪生成的信号进行采样。控制器(110)具备:光源(140);主干涉仪(150),其生成主干涉信号;副干涉仪(160),其生成副干涉信号;可变延迟量生成部,其生成可变延迟量;校正信号生成部(171),其基于副干涉信号和可变延迟量生成对主干涉信号的采样周期进行校正的校正信号;处理部(118),其基于主干涉信号和校正信号计测到计测对象物(T)的距离;以及可变延迟量设定部(195),其根据基于根据校正信号采样的主干涉信号的数字信号的信号的峰值和基于由主干涉仪(150)生成且根据校正信号采样的反射信号的数字信号的信号的峰值中的至少一方来设定可变延迟量。
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公开(公告)号:CN115808669A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202210946006.2
申请日:2022-08-08
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明公开了即便在计测对象物包含粗糙面及镜面的情况下也能适当地测距的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器具备:波长扫描光源;干涉仪,包括使从波长扫描光源投射的光分支的分支部,针对该分支出的各个光,基于照射于计测对象物并由计测对象物反射的测定光和沿着与该测定光至少一部分不同的光路的参照光而产生各干涉光;受光部,接受各干涉光;处理部,根据镜面模式或粗糙面模式,使检测出的峰值与斑点相对应而计算出至计测对象物为止的距离,针对被分支出的各个光,设定为光路长度差不同,在镜面模式的情况下,处理部将基于与光路长度差为最短的斑点对应的峰值而计算出的距离作为至计测对象物为止的测距结果。
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公开(公告)号:CN111684244A
公开(公告)日:2020-09-18
申请号:CN201980011576.9
申请日:2019-03-12
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种在利用了使用光学滤波片的分光方式的波长检测装置中,能够在将作为测定对象的波长范围维持得宽的同时提高波长检测精度的技术。波长检测装置(10)包括:多个光学滤波片(12a、12b);分割部件(11),将光分割后使其通过多个光学滤波片(12a、12b);多个受光元件(13a、13b),对多个光学滤波片中的各者中通过的光的强度进行检测;运算部(16),根据多个受光元件的输出,导出与多个光学滤波片的透过率相关的物理量,并且基于多个光学滤波片的与透过率相关的物理量跟光的波长的关系即透过率特性,导出通过多个光学滤波片的光的波长,所述波长检测装置(10)中,多个光学滤波片中的各者的透过率特性在作为测定对象的波长范围中的不同波长范围内具有倾斜部分。
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公开(公告)号:CN110892191A
公开(公告)日:2020-03-17
申请号:CN201880030543.4
申请日:2018-02-16
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 光源装置(10)具有照射激光的光源部(11)、聚光透镜(12)和透光性荧光体(13)。聚光透镜(12)会聚从光源部(11)照射的激光。透光性荧光体(13)在内部设置有由聚光透镜(12)会聚的激光的聚光点,在激光透过的部分处发出荧光。
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公开(公告)号:CN119790279A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202380061444.3
申请日:2023-08-29
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B9/02004 , G01B9/02055 , G01B11/00
Abstract: 减少采样的定时的偏离。控制器(110)经由光纤线缆(130)分别与向计测对象物照射光的第1传感器头(121)和第2传感器头(122)连接,该控制器具备:光源(140);第1主干涉仪(151),其生成第1主干涉信号;第2主干涉仪(152),其生成第2主干涉信号;以及副干涉仪(160),其生成副干涉信号,控制器(110)还具备:第1校正信号生成部(171),其生成第1校正信号;延迟量生成部,其生成基于第1光纤(131)的光路长度与第2光纤(132)的光路长度的光路长度差的延迟量;以及第2校正信号生成部(172),其基于副干涉信号和延迟量,生成对第2主干涉信号的采样周期进行校正的第2校正信号。
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