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公开(公告)号：CN119320892A
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411341206.0
申请日：2024-09-25
Applicant: 江苏嘉茂材料科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种超高纯度银靶材及其制备方法，属于靶材领域，包括以下重量分数配比的原料：高纯度银99.99％、钯0.05％‑0.15％、铱0.025％‑0.075％、钕0.1％‑0.3％、镨0.1％‑0.3％。该超高纯度银靶材及其制备方法，通过采用5N级别的高纯度银作为基础材料，并精确添加微量的钯、铱、钕和镨等元素，实现了靶材纯度的显著提升，超越了现有技术的纯度范围，该创新材料设计不仅优化了靶材的硬度、强度和耐磨性，还通过细化晶粒和多阶段热处理有效提高材料的致密均匀性并消除内部应力，此外，多向锻造工艺增强了靶材的各向同性，确保不同方向上性能的一致性，这些改进显著提升了靶材的机械性能，使其更能适应高耐磨性要求的应用环境，同时提高了使用该靶材制备的薄膜的导电性、反射率和均匀性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN222635217U
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202420521145.5
申请日：2024-03-18
Applicant: 江苏嘉茂材料科技有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种高纯银靶生产用热处理装置，包括底板，所述底板的上表面固定有两个竖板，两个所述竖板的顶端均固定有连接板，两个所述连接板的顶端固定有同一顶板，所述顶板的下方设有净化机构，右侧所述竖板的右侧设有翻转机构，两个所述竖板相对的一侧均通过轴承转动连接有活动柱，两个所述活动柱之间固定有同一大气熔炼炉主体。该高纯银靶生产用热处理装置，当大气熔炼炉主体对银靶原料进行熔炼时，内部杂质会熔炼为有害气体并向上飘动，有害气体移动至导热框板中心后，热量被导热框板吸收一部分，通过散热片进行散热，有害气体移动至活性炭板的内部，并被活性炭板净化，通过风扇进行导流，使有害气体被净化后排放。
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公开(公告)号：CN221492996U
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202323543218.5
申请日：2023-12-25
Applicant: 江苏嘉茂材料科技有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种用于溅射腔内壁银靶材生产装置，包括固定连接于底座顶部的箱体、固定连接于箱体内底壁上的数量为两个的固定座和设置于箱体内部的喷枪机构，两个所述固定座之间设置有对靶材背管进行夹持的旋转夹持机构，所述箱体的内部设置有对靶材背管进行降温的降温机构，所述旋转夹持机构包括固定安装于右侧所述固定座右侧的减速电机和转动连接于左侧所述固定座内部的转动座。该用于溅射腔内壁银靶材生产装置，通过PLC控制器启动液压缸左右移动，电动推杆伸缩带动夹具上下移动，便于对不同尺寸的靶材背管进行固定，然后通过PLC控制器启动减速电机工作，减速电机工作带动靶材背管进行旋转处理，达到了便于固定的优点。
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公开(公告)号：CN222402434U
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202421112366.3
申请日：2024-05-21
Applicant: 江苏嘉茂材料科技有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种旋转银靶均匀性表面处理装置，属于银靶表面处理技术领域，包括支撑台、安装架、泵体、排出管和清理液输出管，所述支撑台的顶部设有清理机构、驱动组件和夹持组件。该旋转银靶均匀性表面处理装置，通过电动伸缩杆、限位杆和两个夹块将银靶夹持在空中，同时使其银靶外周壁放置在两个U字形清理刷板的内部，通过第一驱动电机的作用便于对银靶的外周壁进行清理，通过夹持组件将银靶夹持在橡胶板的内部对其进行固定，通过驱动组件的作用带动圆形清理刷转动并对银靶的左右两侧外壁进行清理，提高了银靶表面清理的质量，同时仅需两个步骤便可对银靶表面进行清理，提高了银靶表面清理的效率。
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公开(公告)号：CN221275872U
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202323230435.9
申请日：2023-11-29
Applicant: 江苏嘉茂材料科技有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型涉及一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，包括底座，所述底座顶部左右两侧均固定连接有支撑座，所述支撑座两侧均设置有限位结构；所述限位结构包括螺纹杆，所述螺纹杆与支撑座螺纹连接，所述螺纹杆远离支撑座的一侧固定连接有把手，所述螺纹杆朝向底座中部的一侧固定连接有夹板，所述夹板顶部与底部均固定连接有滑块；所述电动伸缩杆输出端铰接有限位块，所述限位块接近滑块的一侧固定连接有复位弹簧。该便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，具备在支撑座两侧以及镀膜箱内均设置有限位结构，而限位结构能够灵活对不同规格的靶材进行限位，进而靶材在镀膜翻转时减少滑落的现象，从而增强机台实用性等优点。
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公开(公告)号：CN221275866U
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202323230430.6
申请日：2023-11-29
Applicant: 江苏嘉茂材料科技有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本申请涉及一种高抗氧化的银合金靶材，包括第一纯银靶材和第二纯银靶材，所述第一纯银靶材和所述第二纯银靶材相互贴合，所述第一纯银靶材和所述第二纯银靶材外部固定安装有银合金靶材，所述第一纯银靶材和所述第二纯银靶材之间设置有连接结构进行结合，所述第一纯银靶材和所述第二纯银靶材之间设置有连接结构进行结合。该高抗氧化的银合金靶材，通过设置银合金靶材呈矩形框状对第一纯银靶材和第二纯银靶材进行外包裹覆盖，从而减少铝合金的整体分布，减少靶材成本，同时通过定位棱和凹槽的倾斜设置，使得第一纯银靶材和第二纯银靶材仅能够在斜向位移下实现分离，受到银合金靶材的外包裹限制，使得第一纯银靶材和第二纯银靶材的结合面均匀稳定。
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